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一氧化氮的溶解性

一氧化氮的熱導率

溫度（K）    熱導率（×10-4）    溫度（K）    熱導率（×10-4）

100    90    450    364

150    134.5    500    396

一氧化氮的溶解性

一氧化氮微溶于水,和其它一些溶劑.

一氧化氮在100毫升FeSO4溶液中的溶解度為3.4厘米3;在100毫升CS2溶液中的溶解度為3.4厘米3;在100毫升H2SO4中的溶解度為3.4厘米3;在100毫升酒精中的溶解度為26.6厘米3;在100毫升冷升(0℃)中的溶解度為7.34厘米3;在100毫升熱水(60℃)中的溶解度為2.37厘米3.

高純/特種氣體的概念

半導體集成電路制造所需要的高純氣體主要分為兩大類：

1.普通氣體：也叫大宗氣體，主要有：H2 、N2 、O2 、Ar 、He等。

2.特種氣體：主要指各種摻雜用氣體、外延用氣體、離子注入用氣體、刻蝕用氣體等。

半導體制造用氣體按照使用時的危險性分類：

1.可燃、助燃、易然易暴氣體：H2 、CH4、H2S、NH3 、SiH4、PH3 、B2H6、SiH2CL3、CLF3、SiHCL3等

2.有毒氣體：AsH3、PH3 、B2H6等

3.助燃氣體：O2 、N2O、F2 、HF等

4.窒息性氣體：N2 、He 、CO2、Ar等

5.腐蝕性氣體：HCL 、PCL3 、POCL3 、HF、SiF4、CLF3等

標準氣體的開發過程

標準氣體的開發過程可分為四個部分：原料氣的純度分析；原料氣的純度分析。 通過稱量法或分壓法制備； 校準分析方法，例如氣相色譜法和化學發光法； 性能檢查和包裝條件。

原料氣的純度分析原料氣的純度分析是一項基礎研究工作，它直接影響稱量方法的價值。 原料氣體的分析應解決三個問題，即主體含量，稀釋氣體中要混合的組分的含量以及干擾要混合的組分的含量。 為了在氮氣中制備1×106 mol / mol的標準氣體，為了確保1％的不確定性，要求高純度氮氣中的含量小于3×10 mol / mol。 這個要求很嚴格。 這必然導致對氣體分析技術和凈化技術的研究。 因此，在標準氣體的制備過程中，對分析技術和純化技術的要求很高。