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氦質譜檢漏儀的工作原理

今天科儀創新的小編和大家分享的是氦質譜檢漏儀的工作原理，希望對您有所幫助！

氦質譜檢漏儀是一種以氦氣作為示漏氣體專門用于檢漏的質譜分析儀器。其基本工作原理是采集被檢件中的氣體樣品并將其電離，根據不同種類氣體離子質荷比不同的特點，利用磁偏轉分離原理將其區分開來。儀器對其示漏氣體氦氣有響應信號，而對其他氣體沒有響應，從而檢漏。真空氦罩法采用有一定密閉功能的氦罩將被檢產品全部罩起來，在罩內充滿一定濃度的氦氣，可以實現被檢產品總漏率的測量。

氦質譜檢漏儀的原理

氦質譜檢漏儀一般由質譜管，真空系統和電子系統組成。其中質譜管包括離子源，質量分析器和離子檢測器; 真空系統一般由分子泵、機械泵、電磁閥和真空計組成。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并聚焦成束，以一定能量注入質分析器，

目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。質分析器的作用起將各類離子按其質荷比的不同實現分離。

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真空箱氦檢漏的特征和優點

1、高壓氮氣強度檢測真空箱內進行，保護操作者安全

2、真空箱內氦氣本底抑零，保證了檢漏的準確性、。

3、檢漏儀的自動校準功能以及自動校準程序，可隨時校準檢漏儀的靈敏度、準確度。

4、特殊設計的檢測程序判斷出具體的有漏工件，并通過燈光和液晶操作屏顯示出來。

5、專利技術的密封接頭，減少誤判。

6、電氣控制系統的連鎖保護及聲光報警功能，確保了系統的操作安全及可靠運行。

7、PLC控制，使系統運行清晰明了，實現了實時監測及控制。

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氦氣檢漏的基本功能（部分功能可選配）

1、對被檢工件充注高壓氮氣或壓縮空氣進行耐壓強度和大漏氣密性檢驗；

2、對被檢工件抽真空；

3、對被檢工件充注氦氣；

4、真空箱法氦質譜檢測，自動判斷工件漏率合格與不合格；

5、回收并循環使用氦氣；

6、如果氦氣浪費嚴重，可以將使用過程中濃度不合格的氦氣進行提純

7、PLC控制，觸摸屏操作，自動檢測。

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