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發布時間:2021-09-07 12:35  
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實驗室氣路安裝要求
1、所有氣體管路都由高質量的、完全退火型、無縫連接的不銹鋼管組成。銅管只使用在氣體管路的末端,對氣體純度要求不是太嚴格的地方。
2、氣路安裝管道不得和電纜、導電線路同架鋪設。
3、易1燃氣體,如乙1炔需要和其他氣體分開單獨引入。氫氣管道若與其他可燃氣體管道平行敷設時,其間距不應小于0.5M;交叉敷設時間距不應小于0.25M。分層敷設時氫氣管道應位于上方。
4、壓縮空氣在管路上有過濾雜質和水分的凈化裝置,此凈化裝置需要并聯一路,用單獨的閥門隔離,以方便對過濾裝置進行維修。
5、高純氣體管路的連接為無縫焊接。連接到閥門或調節裝置時才可以使用接頭配件。
6、每個實驗室都要有單獨的控制閥、減壓閥和壓力表。
7、引到工作臺的氣體管路要安裝單獨的控制閥。工作臺上要均勻排放各種氣體的控制閥門。在氦氣管路前面建議安裝氣體凈化裝置。
8、每隔1.5米左右,氣體管路就需要有支架。另外根據氣體管路彎曲的半徑,設置合適的支架位置。所有彎曲處都要有支撐。氣路安裝管路所有的支架都要進行鍍鋅防腐處理。
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實驗室供氣系統氣體管路
實驗室供氣管路系統工程主要是為試實驗室選用的分析設備提供量值和壓力穩定的標準氣體,保證其儲存和使用的安全性。保障分析測試人員在實驗中免受有毒有害氣體的侵害。氦檢漏發現的泄漏點經修補后,應重新經過氣密性試驗,合格后再按規定進行氦檢漏。按照國標要求,將所用全部氣體存放于儲氣間,并實現集中輸送,組成中央供氣系統。系統采用一拖一、一拖多、多拖一和多拖多的管道式輸氣方式,在一拖多時能夠實現分段控制和在多拖一和多拖多時能夠實現切換控制;并能夠保證標準氣體流量、壓力穩定和量值傳遞不發生變化,滿足分析檢測設備對使用氣體的技術要求。
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大宗特氣供氣系統介紹
大宗特氣供氣系統主要針對大規模量產的8-12英寸(1英寸=25.4毫米) 超大規模集成電路廠(氣體種類包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等),100MW以上的太陽能電池生產線(氣體種類包括NH3),發光二極管的磊晶工序線(氣體種類包括NH3)、5代以上液晶顯示器工廠(氣體種類包括4、3、NF3)、光纖(氣體種類包括SiCl4)、硅材料外延生產線(氣體種類包括HCL)等行業。便會發生燃燒爆1炸事故因此在可燃氣體入口處、氣體鋼瓶存放間、潔凈室內使用可燃氣體處、敷設可燃氣體的管廊或技術夾層以及可能聚集可燃氣體的場所均應設置可燃氣體報警裝置。它們的投資規模巨大,采用1先進的工藝制程設備,用氣需求量大,對穩定和不間斷供應、純度控制和安全生產提出嚴格的要求。
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實驗室氣體管道設計要求
了解實驗室設計的都知道:實驗室的任何的設計都是有規格要求的,出了這個要求的范圍那么實驗室的設計就有漏洞,就不合格,就容易發生事故。特種氣體的應用領域主要在集成電路制造、太陽能電池、化合物半導體、液晶顯示器、光纖生產四大領域,其中主要應用于半導體集成電路的生產制造。實驗室的氣體的排放是非常重要的,如果說實驗室氣體管道設計不合理,工作人員就容易出事,甚至嚴重的就會有生命危險。
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