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發布時間：2020-12-31 04:55
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ZEISS RDS-D動態旋轉測座，可選配光學與接觸式測頭系統。
采用側面旋轉技術的動態旋轉測座于兩個方向均可實現±180°旋轉，步距角2.5°，
空間旋轉位置可達20736個。采用CAA技術，極大的節約了探針校準與檢測時間。
適用于ZEISS RDS-D的掃描與多點觸測式測頭系統。掃描測量率達150點/秒
使用TL3模塊時，探針長度 = 30-150 mm；長加長桿 = 100 mm；
大探針重量 = 15 g；小探針直徑 = 0.3 mm.
1) 配置TL3模塊的驗收測試：使用探針長度50mm，探針直徑3mm。
2) 測量長度L 單位為mm，測量時RDS角度位置A=0°,B=0°。
3) 使用光學測頭需接觸式測頭校準 (例如 ZEISS VAST XXT)。
4) 基于ZEISS ViScan x 1倍光學鏡頭。
5) 激光等級2M：未使用光學儀器（例如放大鏡、鏡頭元件、望遠鏡）進行光束聚焦，短時間（0.25秒）內暴露于光譜范圍內的可見激光光束睛無害。
6) 探測誤差測試位于測量范圍中央并基于啞光球（直徑30mm）進行。依據ISO 10360-8 P[Form.Sph.D95%:Tr:ODS]。
7) 適用于 12/18/8, 12/18/10, 12/24/8 及 12/24/10。
8) 圓度測量中掃描速度為5mm/s，濾波為50 UPR。
ZEISS DotScan
測量范圍 1 mm 2)
配備共聚焦白光測距傳感器，適用于ZEISS RDS-DCAA
掃描測量速率高達1000點/秒。
工作距離：10,5mm ,分辨率28nm
可測量平面與光束夾角范圍90°± 30°1) 光斑直徑 8 μm
測量范圍 3 mm 2)
工作距離：21,5mm ,分辨率36nm，
可測量平面與光束夾角范圍90°± 24° 1) 光斑直徑 9 μm
