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發布時間:2021-10-09 18:12  
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用氦氣作為氦質譜檢漏氣體的原因
選擇示漏氣體(示蹤氣體)的原則是:它在空氣中及真空系統中的含量低;檢漏儀對示漏氣體的靈敏度高;它不會對人員、環境、被檢件及檢漏儀造成污染、傷害和安全隱患;價格低。
質譜檢漏儀通常選擇氦氣作示蹤氣體,主要原因如下:
1、氦在空氣中及真空系統殘余氣體中的含量極1少(在空氣中約含5.2ppm),在材料出氣中也很少,因此本底壓力小,輸出的本底電流也小。正因為本底小,由某些原因引起本底的波動,亦即本底噪聲也就小,因此微小漏率也就能反應出來,靈敏度高。
2、氦的質量小(相對分子質量為4),易于穿過漏孔。這樣,氦較除氫以外的其他氣體通過同一漏孔的漏率就大,容易發現,靈敏度高。
3、氦是惰性氣體,不與被檢件器壁起化學反應,不會污染被檢件,使用安全。
4、在氦兩側的是氫(質荷比為2)和雙電荷原子碳(質荷比為6),質荷比都與氦相差較大。這樣,它們在分析器中的偏轉半徑相差也大,容易分開,定標找氦峰時,不易受其他離子的干擾,因此就降低了對分析器制造精度的要求,易于加工。3.壓力哀減法(壓差法)就是將被檢工作,利用壓縮機或壓縮空氣(一般1-3Mpa)連接進一個壓力表,待充上氣后,密封(確保封頭不漏),觀察壓力表24小時內壓力降情況,如有漏則壓力降低,但不能判斷什么地方漏,漏多少。同時,分析器出口電極及離子源加速極的隙縫也可以加大,使更多的氦離子通過,提高了儀器靈敏度。
5、氦在被檢件及真空系統中不易被吸附。這樣檢出一個漏孔可以使氦信號迅速消失以便繼續進行檢漏,提高了儀器的檢漏效率。
6.氫氣有些性能(如質量小、易通過漏孔)比氦還好,然而由于氫一方面有易1爆危險,另一方面在油擴散泵中,由于油受熱裂解會產生大量的碳和氫,使氫本底極高且波動大,以致靈敏度大大降低,所以很少采用。
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真空箱式氦檢漏系統【工作環境】
科創真空——專業真空箱氦檢漏供應商,我們為您帶來以下信息。
工作環境:
1、長×寬×高(設備占地面積約):依據實物實際面積為準。
2、電源:380 V±38 V,50 Hz±0.5 Hz,約22KW;
3、壓縮氣源及減壓器:0.6~0.8Mpa氮氣或干燥清潔壓縮空氣;
4、待檢工件要求清潔、干燥。
5、環境溫度: 5 ℃ ~ 35 ℃;
6、相對濕度: ≤80%;
7、氦氣源及減壓器:氦氣純度為 99%。
8、設備應安裝在通風良好的廠房內。
真空箱式氦檢漏設備【驗收標準】
由于真空箱式氦檢漏系統是比較專業的設備,所以需要用戶進行驗收,以免后期使用過程中產生問題,難以解決。首先是設備在運往用戶工廠后根據技術協議逐條驗收,之后進行操作、維修等技術培訓,驗收合格后雙方簽字生效。然后需方收到設備后應及時對設備進行驗收,以免延期因保管出現的產品質量問題。2S檢漏口:300Pa極限真空:5×10-4Pa外形尺寸:560(W)×420(D)×300(H)重量:46KG以上就是為大家介紹的全部內容,希望對大家有所幫助。需要注意系統調試需要用測試工件。
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真空箱式氦檢漏系統
以下是科創真空為您一起分享的內容,銳誠真空公司專業生產銷售氦檢漏設備,歡迎新老客戶蒞臨。
機械系統主要由以下四個單元構成:真空箱單元、充氦氣回收單元、檢漏單元、清氦單元。
1.1真空箱單元
真空箱單元由真空箱、真空泵組、真空測量裝置、真空閥、執行裝置及不銹鋼管道等組成。
真空箱:采用不銹鋼材質制造,其內表面在加工后經拋光和清洗處理,保證了良好的本底和ji少的藏氣,提高了真空箱的抽空效率。
1.2 充氦氣回收單元
充氦氣回收部分主要包括儲氣(高壓)罐、回收(低壓)罐、壓縮機、真空泵、電磁閥、真空閥、壓力傳感器、真空計和管道等組成。能在設定的時間內對工件進行抽空、充氦氣和氦氣回收等處理。
1.3 檢漏單元
真空箱式氦檢漏系統機械系統部分的氦檢漏單元,氦質譜檢漏儀采用進口產品,自動校準漏孔。技術成熟,性能穩定,安裝維護方便,使其和真空箱連接更加協調緊密。