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發布時間:2021-04-28 19:47  
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如何區分潔凈棚與潔凈室兩者的不同 1、潔凈棚又名潔凈工作棚(無塵棚、凈化棚、操作工作臺等),是指在潔凈室內用防靜電網格簾或有機玻璃圍一個小空間,上方采用HEPA及FFU送風單元組成一相對潔凈室較高凈化級別的空間,潔凈棚可配風淋室、傳遞窗等凈化設備;
2、潔凈室是指將空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物清理干凈,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計之房間。也就是不論外在之空氣條件如何變化,其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。潔凈室主要之作用在于控制產品所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造,這樣的一個空間我們一凈稱之為潔凈室。
潔凈棚材料:潔凈棚的框架一般有三種:不銹鋼方通,鐵方通,鋁型材。 潔凈棚頂部材料一般有三種:不銹鋼板,冷軋鋼板噴塑,防靜電網格圍簾,(防靜電)亞克力板。 潔凈送風部分,一般選擇FFU層流罩(FFU層流送風單元) 潔凈棚的圍護材料一般包括:防靜電圍簾,(防靜電)亞克力板。潔凈棚凈化級別的選擇: 比較多的客戶,會選用千級潔凈棚,或萬級潔凈棚,少量客戶會選用百級或萬級。總之,潔凈棚級別的選擇在于客戶對潔凈度的需要而定,但因潔凈棚比較密閉,如選擇潔凈棚級別比較低時,往往會帶來部分副作用:冷量不足,員工在潔凈棚內會感覺比較悶熱,所以實際在和客戶的溝通過程中,需要注意這點。
潔凈棚方通分類:
鐵方通(烤漆處理),201不銹鋼方通,304不銹鋼方通,鋁合金方通四種。
各種潔凈棚方通圖片案例展示與說明:
骨架采用鐵方通(烤漆處理)制作的潔凈棚,美觀大方,經久耐用。
骨架采用鐵方通(烤漆處理,50*50mm方通)制作的潔凈棚,美觀大方,經久耐用。
不銹鋼方通制作的潔凈棚,美觀大方,經久耐用,防腐蝕。
50*50mm不銹鋼方通制作的潔凈棚,美觀大方,經久耐用,防腐蝕。
201不銹鋼方通與304不銹鋼方通統稱不銹鋼方通
鋁合金方通制作的潔凈棚,安裝使用方便。
潔凈棚的溫濕度控制非常重要,不合宜的溫濕度會影響潔凈效果。但是溫濕度的控制主要還是根據工藝要求來確定的,工藝性高也就代表著潔凈度越高。
濕度過高產生的問題更多。相對濕度超過55%時,冷卻水管壁上會結露,如果發生在精密裝置或電路中,就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外,濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學吸附在表面耐難以清除。相對濕度越高,粘附的難去掉,但當相對濕度低于30%時,又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,同時大量半導體器件容易發生擊穿。對于硅片生產溫度范圍為35—45%。
具體工藝對溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來越精細,所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規模集成電路生產的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時要求濕度值一般較低,因為人出汗以后,對產品將有污染,特別是怕鈉的半導體車間,這種車間不宜超過25度。