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真空泵配件中泵油的光滑性    摩擦面的磨擦磨損、外表疲倦磨損以及腐蝕磨損等，都與光滑條件有關。表現佳的泵油有利于抑止腐蝕磨損；能夠有效地減輕粘著磨損和外表疲倦磨損；流體光滑劑對摩擦面具有清洗作用，也可減輕磨擦磨損。降低摩擦阻力以節約能源，減少磨損，以延長機械壽命。

7、泵大修時必須用溶劑或清洗劑將泵的各部件清洗干凈，并將部件烘干。    8、加油用具必須有是專用設備，不應是盛過其它油品或溶劑的容器;抽泵。    9、礦物油與酯油或其它合成油互換時，應將泵拆開作徹底清洗。包括各零部件均須浸漬在酯油內以防污染。   

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壓縮氣體基本上是等溫的，即壓縮氣體過程溫度變化很小。

由于泵腔內沒有金屬磨擦表面，無須對泵內進行潤滑，而且磨損很小。轉動件和固定件之間的密封可直接由水封來完成。

吸氣均勻，工作平穩可靠，操作簡單，維修方便。

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根據和標準 （1）系統對真空度的規定，依據系統對真空度的規定，挑選相對限真空的泵。一般規定泵的限真空比系統要求的限真空高0.5~一個量級。 （2）系統軟件一切正常工作中時的工作壓力范疇，規定泵一切正常工作中的工作壓力范疇務必考慮系統軟件所規定的壓力。