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發布時間:2020-11-09 11:39  
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如何保養鍍膜機才能壽命更長?
真空鍍膜機就是:蒸發鍍膜一般是加熱靶材使表面組分以原子團或離子形式被蒸發出來,并且沉降在基片表面,通過成膜過程(散點-島狀結構-迷走結構-層狀生長)形成薄膜。對于濺射類鍍膜,可以簡單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材,并使表面組分以原子團或離子形式被濺射出來,并且終沉積在基片表面,經歷成膜過程,終形成薄膜。
那么在使用的同時,我們怎么去保養他,愛護它,從而讓他壽命更長呢?
一般擴散泵連續使用6個月以上,抽速明顯變慢,或操作失當,充入大氣,拆去聯結水管,卸下電爐盤,將一級噴嘴擰出,先用油將泵腔及泵膽清洗一遍,再用洗衣粉兌水清洗一遍,然后用清水徹底清洗干凈,待水份揮發干以后,裝好泵膽,加入新擴散泵油,并裝回機體,接好水管,裝好電爐盤,真空鍍膜設備便可以重新開機。在重新開機前,要注意檢漏工作。
方法是:啟動維持泵,關好大門,數分鐘后,觀察擴散泵部分真空度是否達到6X10帕,否則要進行檢漏。檢查聯接處是否裝密封膠圈,或壓壞密封圈。排除漏氣隱患后方可加熱,否則擴散泵油會燒環,真空鍍膜設備無法進入工作狀態。
方法是:用NaOH飽和溶液反復擦洗真空室內壁,(注意人體皮膚不可以直接接觸NaOH溶液,以免灼傷)目的是使鍍上去的膜料鋁(AL)與NaOH發生反應,反應后膜層脫落,并釋放出氫氣。
當粗抽泵(滑閥泵,旋片泵)連續工作一個月(雨季減半),需更換新油。
方法是:擰開放油螺栓,放掉舊油,再將泵啟動數秒,使泵內的舊油完全排放出來。擰回放油螺栓,加入新油至額定量(油視鏡觀察)。連續使用半年以上,換油時應將油蓋打開,用布擦干凈箱內污垢。
現代真空鍍膜機膜厚測量及監控方法
涂層的鍍膜機控制方法是直接的石英晶體微天平(QCM)的方法,該儀器可以直接驅動的蒸發源,通過PID控制回路傳動擋板,使蒸發率。只要儀器和系統控制軟件的連接,它可以控制涂層的全過程。但(QCM)的準確性是有限的,鍍膜機部分原因是其監測代替光學厚度的涂層質量。
此外,雖然QCM在低溫下非常穩定,但溫度高,它將成為對溫度很敏感。在長時間的加熱過程中,鍍膜機很難避免傳感器為敏感的區域,導致薄膜的重大錯誤。光學監測是一種涂層優選的監控模式,鍍膜機這是因為它能準確控制膜的厚度(如果使用得當)。
精度的提高,由于許多因素,但根本的原因是光學厚度的監測。optimalswa-i-05單一波長的光學監測系統,是間接控制,鍍膜機先進的光學監測軟件結合王博士的發展,有效地改善和靈敏度變化的光反應的膜厚度的減少終的誤差的理論方法,提供監測波長的反饋或傳輸模式的選擇和廣泛的。特別適用于涂布各種薄膜厚度監控包括不規則的膜。
真空鍍膜設備的正常工作條件
1.環境溫度:10~30℃
2.相對濕度:不大于70%
3.冷卻水進水溫度:不高于25℃
4.冷卻水質:城市自來水或質量相當的水
5.供電電壓:380V,三相50Hz或220V,單相50Hz,電壓波動范圍342~399V或198V~231V,頻率波動范圍49~51Hz;
6.設備所需的壓縮空氣、液氮、冷熱水等壓力、溫度、消耗量均應在產品使用說明書上寫明。
7.設備周圍環境整潔、空氣清潔,不應有可引起電器及其他金屬件表面腐蝕或引起金屬間導電的塵埃或氣體存在。