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質量流量計簡介

質量流量：

以單位時間內流過某截面的流體質量表示的流量。氣體質量流量一般將其換算成標準狀態下的 體積/分鐘 來表示。例如：毫升/分鐘即 mL/min （SCCM行業標準）, 升/分鐘即 L/min （SLM行業標準）. 標準狀態為：氣體溫度—— 273.15K (0℃)； 氣壓——101325Pa(1atm)

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質量流量計的原理

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目前，國內使用較為廣泛的是熱式氣體質量流量計。

其原理如下：“在直徑較細的感應管中放置兩對加熱器，并將其控制在同一溫度。當流體流動時，氣體將上游的部分熱量帶給下游，而下游的加熱器從上方獲取熱量溫度上升。這時，利用上下加熱器之間產生的溫度差和流體的質量流量成比例的原理，來測定流量。”（附：qm=KCpA△T Cp定壓比熱容 A測量管繞組（即加熱系統）與周圍環境熱交換系統之間的熱傳導系數； K -------儀表常數）

質量流量計概述

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主要特點

1. 適用多種介質

2. 測量準確度高

3. 無直管段要求

4. 可靠性好

5. 維修率低

6. 具有核心處理器

主要分類

質量流量計可分為兩類：一類是直接式，即直接輸出質量流量；另質量流量計一類為間接式或推導式，如應用超聲流量計和密度計組合，對它們的輸出再進行乘法運算以得出質量流量。