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發布時間:2021-09-05 09:42  
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亂流式此種方式是讓空氣通過空調箱經風管與潔凈車間內之空氣過濾
亂流式
此種方式是讓空氣通過空調箱經風管與潔凈車間內之空氣過濾器(HEPA)進入潔凈車間,并由潔凈車間兩側隔間墻板或高架地板回風。此型式適用于潔凈車間等級1,000-100,000級。氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態。
優點:構造簡單、系統建造成本低,潔凈車間的擴充比較容易,在某些特殊用途場所,可并用無塵工作臺,提高潔凈車間等級。
缺點:亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出,易污染制程產品。另外若系統停止運轉再,欲達需求之潔凈度,往往須耗時相當長一段時間。
復合式ULSI制程大都采用此種型式
復合式
此種方式是為了將亂流式及層流式予以復合或并用,可提供局部超潔凈之空氣。
1.裝局部潔凈車間:將潔凈車間等級10,000~100,000之亂流潔凈車間內之產品制程區的潔凈度等級提高為10~1000級以上,以為生產之用;潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風柜即屬此類。
2.凈管道:將產品流程經過的自動生產線包圍并凈化處理,將潔凈度等級提至100級以上。因產品和作業員及發塵環境相互隔離,少量之送風即可得到良好之潔凈度,可節省能源,不需人工的自動化生產線為適宜使用。藥品、食品業界及半導體業界均適用。
3.凈隧道:以HEPA或ULPA過濾器將制程區域或工作區域100%覆蓋使潔凈度等級提高至10級以上,可節省安裝運轉費用。此型式需將作業人員之工作區與產品和機器維修予以隔離,以避免機器維修時影響工作及品質。ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項優點:①彈性擴充容易;②維修設備時可在維修區輕易執行。
無塵室要按級別區別,沒有正壓的原因
要是沒有得話能夠選用戶外代過慮氣的大中型家用新風系統,房間內就能維持正壓。無塵室要按級別區別,級別是依據房間內的清潔換風來區別,依據房間內尺寸及規定操縱離心風機送排風量及工作壓力,送風尺寸及其補新風系統都是有一定的規定測算。
沒有正壓的原因:1.正壓是表明凈化處理車間抑止根據窗門間隙環境污染室內空氣質量的工作能力,或在短期內開啟窗門時使滲透到房間內的空氣污染物降低到少程度的工作能力,正壓尺寸表明抑止環境污染工作能力的高低,自然并不是正壓越大越好(后邊將提到)。2.正壓需要的排風量比較有限,5Pa正壓與10Pa正壓所需排風量僅差約1次/h,不妨一試呢?顯而易見正壓值低限取l0Pa更優越些。3.美國規范(FS209A~B)要求:當全部進出口關掉時,凈化處理車間與一切鄰近的低潔凈度等級地區中間的少正壓差為0.05英尺水流(12.5Pa),這標值已被很多我國選用。
凈化車間門扇的打開頻次遠比較經常
凈化車間門扇的打開頻次遠比較經常,而凈化車間門扇附近間隙的工作中標準也非常復雜,以雙扇推拉窗凈化車間門為例子,凈化車間門的打開扇更高,并且樘與洞邊的融合經室內裝修后較為隱敝,裝門鉸鏈的一邊則因扇的轉動而對膛的施力方向與別的三邊不一樣。打開扇與扇料互相鋼筋搭接的槽孔規格與槽孔方式難題,是主題活動間隙密封性設計方案小務必留意的關鍵難題。村局、窗戶所占占比也不一樣。因此凈化車間門、窗閉采用的氣密性對策都不完全一致。
凈化車間的門一般向壓力差高的打開,可是清理間和污染較高屋子一般向屋子里側打開。為了更好地好了解,把過道也假定成屋子,那麼,門的開向,一般全是,開門的方向朝較整潔的一個。盡可能開向壓力差高的方向,那樣即便門鎖壞掉都不至被吹起毀壞潔凈度等級,對于特別要求的屋子自身酌情考慮
過道得話盡可能箱屋子里側開避免開門的情況下過道有些人根據立即給拍在哪了。