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發布時間:2021-05-02 09:33  
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非標定制各種真空腔體
1.腔體常規材質:不銹鋼304,可定制不銹鋼316、316L腔體,弧焊接,表面特殊工藝,拋光處理,外表美觀,
2.按ISO9001質量管理體系組織設計、加工、裝調、檢驗、包裝、運輸;
3.提供該設備的技術檢測報告;
4. 腔體設有快開進樣門,鉸鏈機構,移動靈活,快開門密封件材質采用氟橡膠;
5. 法蘭接口、腔體大小根據客戶需求定制;
6. 腔室內外徹底超聲波清洗,表面清潔;
6. 腔室漏率≤1X10-12Pam3/s;
8. 配合適的真空系統,真空度可進入10-6Pa;
9. 供貨周期:確認方案后5到6周;
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真空腔體加工
真空腔體在薄膜涂層、微電子、光學器件和材料制造中,是一種能適應高真空環境的特殊容器。真空腔體通常包括一系列部品——如鐘形罩、基板、傳動軸以及輔助井,這些構成一個完整的真空腔體。
相關真空機械加工:超高真空系統典型腔體、真空零部件加工、真空轉接頭、真空連接件。我們的制造工程師具有熟練的加工、焊接高真空和超高真空腔體用材料的能力,如304/304L/316/316L/316LN/410/416,我們有長期加工制造經驗,制作材料有保證。真空腔體的制造從原料采購,制造工藝,焊接方法,表面處理,氦泄漏檢查,焊后加工出來的成品的尺寸測量,還有表面是否有磨砂粒,是否粗糙,是否美觀,是否進行了表面處理,是否符合客戶的一系列系統中的運用,都由我們嚴格把關。真空室材質:304SS、304LSS、316SS、316LSS、 鋁真空等級:基本壓力、可接受的的泄漏率表面處理:機械拋光、電解拋光、化學清洗特殊要求:真空烘烤、殘余氣體分析額外配件:盲板法蘭、旋轉位移器、觀察窗需求檢驗報告:三坐標檢測報告、合格證書、材質證明
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真空腔體概述
真空設備包含很多組件,如真空腔體,真空密封傳導件,視口設置,真空傳感器,真空顯示表,沉積系統,蒸發源和蒸發材料,濺鍍靶材,等離子刻蝕設備,離子注入設備,真空爐,真空泵,法蘭,閥門和管件等。真空設備常用于脫氣,焊接,制備薄膜涂層,生產半導體/晶圓、光學器件以及特殊材料等。
基板指的是一個大的法蘭適配器,可以把一個位置低的腔體或者鐘形罩連接到真空泵。基板通常有一個位于中心位置的端口或者法蘭連接裝置,可連接到真空抽氣系統。
脫氣箱或者脫氣室通常是腔體結構,一般帶有鉸鏈接口,可連接不需要高真空環境的其他裝置,如塑料樣品、血液、粘合劑、化學制品或其他液體的除氣設備。
輔助井用于連接抽氣系統和鐘形罩。
基地井整合了基板和真空密封頸,用焊接接頭取代一個真空密封件,可以同時實現基板和密封設備兩個部件的功能。