非標(biāo)抽真空機(jī)參數(shù)多重優(yōu)惠中科鼎新有限公司

發(fā)布時(shí)間：2021-07-28 06:23

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真空機(jī)組對(duì)機(jī)組的要求

超高真空抽氣機(jī)組超高真空抽氣機(jī)組工作在10-5~10-10Pa的超高真空壓力范圍內(nèi),除了要求真空室的材料出氣率很低、漏氣率很小、能經(jīng)受200~450℃高溫烘烤外,對(duì)機(jī)組的要求還有:

(1)主泵的極限真空度高,至少在10-7~10-8Pa以上。

(2)在超高真空的工作壓力范圍內(nèi)主泵應(yīng)具有一定的抽速。

(3)機(jī)組的主泵或主泵進(jìn)氣口以上部分能承受200~450℃的高溫烘烤。

(4)來自主泵的返流氣體(包括工作液蒸氣及解析的氣體)的分壓力足夠低。

(5)對(duì)被抽氣體選擇性強(qiáng)的主泵,要配備足夠大的輔助泵。

(6)機(jī)組主泵進(jìn)氣口以上的管道、閥門等部件,對(duì)材料的選擇和密封要特別慎重。一般采用出氣率較低的不銹鋼和金屬密封材料,以耐高溫烘烤。

超高真空機(jī)組的特點(diǎn)及分類

工作在10-5Pa以上的超高真空機(jī)組有擴(kuò)散泵、分子泵超高真空機(jī)組和無油超高真空機(jī)組.該機(jī)組有如下特點(diǎn):

①主泵極限真空度高，在10-7~10-8pa以上;

②能經(jīng)受200~450℃的高溫烘烤;

③主泵返流氣體的分壓力很低;

④對(duì)被抽氣體選擇性強(qiáng)的主泵，要配備足夠大的輔助泵;

⑤要求真空室、管道、閥門等部件的材料出氣率很低，漏氣率很小。

(1)擴(kuò)散泵超高真空機(jī)組

以擴(kuò)散泵為主泵的超高真空機(jī)組的極限真空度為10-7~10-8Pa。

為減少來自擴(kuò)散泵前級(jí)的氣體反擴(kuò)散和阻擋機(jī)械泵油的反擴(kuò)散對(duì)極限真空度的影響，可在擴(kuò)散泵前級(jí)申聯(lián)一臺(tái)抽速小的擴(kuò)散泵，以降低壓縮比，減小反擴(kuò)散。如在擴(kuò)散泵進(jìn)氣口上邊增設(shè)鈦升華阱，可進(jìn)一步降低來自擴(kuò)散泵的氮?dú)夥謮毫Γ塬@得10-11Pa的超高真空。空氣門關(guān)閉或運(yùn)行泵停運(yùn)后，每分鐘記錄一次凝汽器真空及排汽溫度，8min后開啟空氣門，取后5min的平均值作為測(cè)試結(jié)果。

(2)分子泵超高真空機(jī)組

以分子泵為主泵的超高真空機(jī)組其極限真空度為10-8Pa，特點(diǎn)是啟動(dòng)快，油的污染小。

在機(jī)組內(nèi)增加液氮冷阱，可以增大抽速。機(jī)械泵出口處設(shè)有水冷阱，可以防止油蒸氣進(jìn)入系統(tǒng)。

(3)無油超高真空機(jī)組

不用油做工作液和不用有機(jī)材料密封的真空機(jī)組稱為無油超高真空機(jī)組。常用的主泵有低溫泵、鈦泵、濺射離子泵等，可得到極限真空度10-7~10-8Pa。與有油真空機(jī)組比較，它有如下優(yōu)點(diǎn):

①可獲得清潔真空、無污染源;

②當(dāng)無油真空泵啟動(dòng)后，即可隔離預(yù)抽泵;

③如突然抽氣停止，不會(huì)污染系統(tǒng);

④無油、無聲、無振動(dòng)，改善了工作環(huán)境;

⑤極限真空度高，抽速大，抽氣時(shí)間短。

真空機(jī)組安全風(fēng)險(xiǎn)管控措施分析

1、容器炸裂管控措施分析

真空機(jī)組排氣過濾器應(yīng)用足夠大的容量以保證真空泵在大的抽氣量的條件安全運(yùn)行。提供措施確保其過濾器在飽和或阻塞情況下不會(huì)導(dǎo)致泵入口壓力超過其允許的高工作壓力。在泵的排氣口處或真空系統(tǒng)內(nèi)積累的碎片無法避免時(shí)，應(yīng)配排氣壓力監(jiān)控裝置或壓力調(diào)節(jié)閥。

2、其他事故管控措施分析

1）真空機(jī)組中各種泵所需冷卻介質(zhì)以及水環(huán)泵工作液的供給管路配備斷液報(bào)警裝置。

2）真空機(jī)組安裝應(yīng)急停止設(shè)備裝置，在發(fā)生緊急情況時(shí)能及時(shí)關(guān)停設(shè)備。