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              大樣片離子束刻蝕機供應商在線咨詢【創世威納】

              發布時間:2020-12-16 08:46  

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              離子束刻蝕機的原理

              創世威納——專業離子束刻蝕機供應商,我們為您帶來以下信息。

              利用輝光放電原理將ya氣分解為ya離子,ya離子經過陽極電場的加速對樣品表面進行物理轟擊,以達到刻蝕的作用。把Ar氣充入離子源放電室并使其電離形成等離子體,然后由柵極將離子呈束狀引出并加速,具有一定能量的離子束進入工作室,射向固體表面轟擊固體表面原子,使材料原子發生濺射,達到刻蝕目的,屬純物理刻蝕。










              離子束刻蝕機

              石英晶體諧振器制作

              石英晶體的諧振頻率與其厚度有關。用機械研磨和拋光致薄的晶體,可制作低頻器件,但頻率超過20MHz時, 上述工藝已不適用因為極薄的晶片已不能承受機械應力。采用離子束拋光,可以不受此限制。石英晶體諧振器的金屬引線要求重量輕、低電阻,通常用鋁沉積在晶體表面溝槽中,以高電導率鋁作引線電極。用離子束濺射加工晶體_上的溝槽是有效的方法。









              離子源的主要參數有:①離子束流強。即能夠獲得的有用離子束的等效電流強度,用電流單位A或mA表示。②有用離子百分比。即有用離子束占總離子束的百分比。一般來說,離子源給出的總離子束包括單電荷離子、多電荷離子、各種分子離子和雜質元素離子等的離子束。③能散度。由于離子的熱運動和引出地點的不同,使得離子源給出的離子束的能量對要求的單一能量有一定離散,一般希望能散度盡量小,在的離子束應用中尤其是這樣。④束的聚焦性能。以離子束的截面和張角表示。聚焦不好的離子束在傳輸過程中會使離子大量丟失。獲得良好聚焦特性的離子束的終障礙是束中離子之間的靜電排斥力,為了克服這一障礙,應盡早使離子獲得較高能量。⑤離子源的效率。以離子束形式引出的工作物質占總消耗的工作物質的比例。⑥工作壽命。離子源一次安裝以后使用的時間。









              離子束刻蝕機由真空室、工作臺、快門、真空抽氣系統、供氣系統、水冷系統、電源和  電器系統等主要部分組成,圖1-1所示為離子束刻蝕機的工作原理圖。該機在正常工作  時,首先將真空室的壓力抽至2×10-3Pa或更低,再調節Ar氣流量,使真空室壓力保持  在1×10-2~2×10-2Pa(如需要輔助氣體,如O2、CH2等,則可按一定比例與之混合),  然后啟動離子源各電源,使離子源正常工作,從離子源引出一定能量和密度的離子束  被中和器發射的電子中和后,轟擊工件進行濺射刻蝕。










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