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PVD是物理氣相沉積技術的簡稱，是指在真空條件下，采用物理的方法將材料（俗稱靶材或膜料）氣化成氣態分子、原子或離子，并將其沉積在工件形成具有某種特殊功能的薄膜的技術，常見的PVD沉積技術有：蒸發技術、濺射技術、電弧技術。

目前,提高NbFeB永磁材料耐腐蝕性能的方法有添加合金元素和外加防護性鍍層,但主要以添加防護性鍍層(金屬鍍層、有機物鍍層和復合鍍層)為主。防護性鍍層可以阻礙腐蝕相與基體之間的相互接觸從而減緩磁體的腐蝕。從半導體集成電路、LED、顯示器、觸摸屏、太陽能光伏、化工、制藥等行業的發展來看，對真空鍍膜設備、技術、材料需求都在不斷增加，包括制造大規模集成電路的電學膜。添加鍍層的方法有電鍍、化學鍍、物理氣相沉積等。

怎么保證真空鍍膜設備鍍膜效果與質量

真空鍍膜主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜。真空鍍膜設備若有灰塵，將會影響真空鍍膜的效果和質量。首先，被鍍膜材料表面肯定是有灰塵的，在盡量減小材料表面灰塵的前提下，我們還應當注意以下幾點：

1、真空鍍膜設備使用一段時間后，必須要對設備進行清潔維護；

2、規范操作人員及操作要求，包括穿戴專業的服裝、手套、腳套等；

3、嚴格處理襯底材料，做到清潔干凈，合乎工藝要求；

真空鍍膜技術是一種新穎的材料合成與加工的新技術，是表面工程技術領域的重要組成部分。隨著全球制造業高速發展，真空鍍膜技術應用越來越廣泛。

  中國真空鍍膜機械行業，經過了幾十年發展，形成了門類齊全、布局合理，品種配套，真空鍍膜技術水平與鍍膜工業發展基本適應的體系，真空鍍膜設備已經不能再叫新行業了，其是一個有能力的成熟行業，鍍膜技術從重污染轉為輕污染直至以后的無污染，是前提，隨著更新型節能環保的真空機械設備研發必將改變整個工業。普通玻璃能透過絕大部分太陽光輻射能量，這對采光和吸收太陽光線的能量十分有利。

真空鍍膜機主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜，包括真空離子蒸發鍍膜機、磁控濺鍍膜機射、分子束外延鍍膜機和激光濺射沉積鍍膜機等很多種。主要是分成蒸發和濺射兩種。在真空鍍膜設備中需要鍍膜的被成為基片，鍍的材料被成為靶材。對于大面積鍍膜，常采用旋轉基片或多蒸發源的方式以保證膜層厚度的均勻性。基片與靶材同在真空腔中。

真空鍍膜加工表面的清潔處理非常重要，直接影響到電鍍的產品品質。加工件進入鍍膜室前一定要做到認真的鍍前清潔處理。