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發布時間:2021-01-19 16:48  
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氦質譜檢漏儀的主要及時指標
科儀創新是專業生產氦質譜檢漏儀的廠家,專業用于電廠檢漏。關鍵部件均為進口,性能穩定可靠。不僅靈敏度高,而且操作方便,能夠雙燈絲自動切換、自動調零、自動校準和自動量程切換。今天科儀創新的小編就和大家來分享一下氦質譜檢漏儀的主要及時指標。
1. 較小可檢漏率:5×10-12Pa·m3/s
2. 漏率顯示范圍:1×10-3—1×10-12Pa·m3/s
3. 啟動時間:≤5min
4. 響應時間:≤1s
5. 檢漏口的較高壓力:1500Pa
6. 電源要求:220v,50Hz,單相,10A
7. 工作環境:5-35℃
8. 相對濕度:≤80%
9. 外形尺寸:550(w)×400(D)×780(H)
10. 重量:64kg
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氦質譜檢漏儀能為不同的需求提供不同的測量方法
氦質譜檢漏儀原理的氦質譜檢漏儀特點:
1.檢測時間和周期非常短,可以達到5s以內;
2.檢測的介質比較常用,僅需壓縮空氣即可;
3.不會受到主觀因素判斷的影響;
4.檢測的數據精準;
5.自動生成數據保存,可追溯數據來源。
氦質譜檢漏儀進展的集中體現在如下幾個方面:
(1)便攜式:zui近各國推出的小型便攜式檢漏儀不僅靈敏度高,而且便于攜帶,給野外作業和高空作業提供了比較大的方便。
(2)高壓強下檢漏:檢漏口壓強可高達數百帕左右,對檢測大系統和有大漏的工件很有益。
(3)自動化程度高:自動校準氦峰,自動調節零點,量程自動轉換,自動數據處理,可外接打印機。整機由微機控制,菜單的選擇功能,一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。
(4)全無油的干式檢漏:有些國家生產的檢漏儀,可采用干式泵,達到無油蒸氣的效果,為無油系統及芯片等半導體器件的檢漏,提供了有利條件。
(5)檢漏范圍寬:現今生產的四極檢漏儀,質量范圍很寬,不僅可檢測氦氣,而且能檢測其它氣體。
氦質譜檢漏儀能為不同的應用提供廣泛的測試方法,含有渦輪分子泵、內置機械泵、外置機械泵、光譜、儀管、閥組、檢漏儀電子元件和操作頁面,以及可選功能組件。氦質譜檢漏儀在許多領域里得到廣泛的應用,例如,在航空航天領域里宇宙飛船、航天飛機、火箭、飛機等這些都要用到真空檢漏技術。2ppm),在材料出氣中也很少,因此本底壓力小,輸出的本底電流也小。
用氦氣作為氦質譜檢漏氣體的原因
選擇示漏氣體(示蹤氣體)的原則是:它在空氣中及真空系統中的含量低;檢漏儀對示漏氣體的靈敏度高;它不會對人員、環境、被檢件及檢漏儀造成污染、傷害和安全隱患;價格低。
質譜檢漏儀通常選擇氦氣作示蹤氣體,主要原因如下:
1、氦在空氣中及真空系統殘余氣體中的含量極1少(在空氣中約含5.2ppm),在材料出氣中也很少,因此本底壓力小,輸出的本底電流也小。正因為本底小,由某些原因引起本底的波動,亦即本底噪聲也就小,因此微小漏率也就能反應出來,靈敏度高。
2、氦的質量小(相對分子質量為4),易于穿過漏孔。這樣,氦較除氫以外的其他氣體通過同一漏孔的漏率就大,容易發現,靈敏度高。
3、氦是惰性氣體,不與被檢件器壁起化學反應,不會污染被檢件,使用安全。
4、在氦兩側的是氫(質荷比為2)和雙電荷原子碳(質荷比為6),質荷比都與氦相差較大。這樣,它們在分析器中的偏轉半徑相差也大,容易分開,定標找氦峰時,不易受其他離子的干擾,因此就降低了對分析器制造精度的要求,易于加工。同時,分析器出口電極及離子源加速極的隙縫也可以加大,使更多的氦離子通過,提高了儀器靈敏度。質譜室接在分子泵的高真空端,入口接在分子泵和機械泵之間,利用分子泵對不同氣體具有不同壓縮比的特點,氦氣逆著分子泵的抽氣方向進入質譜室。
5、氦在被檢件及真空系統中不易被吸附。這樣檢出一個漏孔可以使氦信號迅速消失以便繼續進行檢漏,提高了儀器的檢漏效率。
6.氫氣有些性能(如質量小、易通過漏孔)比氦還好,然而由于氫一方面有易1爆危險,另一方面在油擴散泵中,由于油受熱裂解會產生大量的碳和氫,使氫本底極高且波動大,以致靈敏度大大降低,所以很少采用。
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氦氣檢漏的基本功能(部分功能可選配)
1、對被檢工件充注高壓氮氣或壓縮空氣進行耐壓強度和大漏氣密性檢驗;
2、對被檢工件抽真空;
3、對被檢工件充注氦氣;
4、真空箱法氦質譜檢測,自動判斷工件漏率合格與不合格;
5、回收并循環使用氦氣;
6、如果氦氣浪費嚴重,可以將使用過程中濃度不合格的氦氣進行提純
7、PLC控制,觸摸屏操作,自動檢測。
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