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發布時間：2021-09-30 06:24
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真空鍍膜機冷卻配套冷水機的作用
真空鍍膜機冷卻配套冷水機的作用是維持真空鍍膜機器的溫度，使其工作達到、率控制溫度的目的。以前在沒冷水機的情況下，自然水和水塔散熱都不可避免地受到自然氣溫的影響，而且此方式控制是極不穩定的。因此，可以說冷水機是真空鍍膜設備中非常重要的配套冷卻設備，因為冷水機直接關系到真空鍍膜機工作效果的好壞。
真空鍍膜機為什么要配套冷水機？
這個要從真空鍍膜工作原理查看：膜料在高溫下蒸發落在工件表面結晶。由于空氣對蒸發的膜料分子會產生阻力造成碰撞使結晶體變得粗糙無光，所以必須在高真空下才能使結晶體細密光亮，如果真空度不高結晶體就會失去光澤，結合力也很差。
冷水機設有制冷系統和冷卻水循環系統，水溫在5℃～30℃范圍內調節控制，可以達到、率控制溫度的目的。其冷卻原理是：制冷系統將水冷卻，再由水泵將低溫冷卻水送入真空鍍膜機進行降溫，冷水機冷凍水將熱量帶走后溫度升高再回流到水箱，達到冷卻的作用。
真空鍍膜機原理和各部件分析
真空鍍膜機是目前制作真空條件應用為廣泛的真空設備，一般用真空室、真空機組、電氣控制柜三大部分組成，排氣系統采用“擴散泵 機械泵 羅茨泵 低溫冷阱 polycold”組成。至成真空科技專業從事真空鍍膜設備的研發與生產擁有經驗豐富的技術團隊及的售后服務隊伍為您解決設備在使用過程中遇到的任何問題。
真空主體——真空腔根據加工產品要求的各異，真空腔的大小也不一樣，目前應用多的有直徑1、3M、0、9M、1、5M、1、8M等，腔體由不銹鋼"target=_blank>不銹鋼材料制作，要求不生銹、堅實等，真空腔各部分有連接閥，用來連接各抽氣泵浦。
二、輔助抽氣系統：排氣系統為鍍膜機真空系統的重要部分，主要有由機械泵、增壓泵(主要介紹羅茨泵)、油擴散泵三大部分組成。此排氣系統采用“擴散泵 機械泵 羅茨泵 低溫冷阱 polycold”組成。排氣流程為：機械泵先將真空腔抽至小于2、0*10-2PA左右的低真空狀態，為擴散泵后繼抽真空提供前提，之后當擴散泵抽真空腔的時候，機械泵又配合油擴散泵組成串聯，以這樣的方式完成抽氣動作。
真空鍍膜機的陰極電弧技術
真空鍍膜機的陰極電弧技術是利用真空環境下的弧光放電，使固體陰極靶材蒸發、離化并通過等離子體的強化作用，飛向陽極基體表面沉積成膜的技術。正因為如此，陰極電弧技術具有極高的沉積速率。
在含有惰性氣體或反應氣體的真空環境下沉積在基體表面，具有高能量的離子束對于提高膜基結合力和打亂膜的柱狀晶結構是非常有利的，從而也可大幅度改善膜的組織結構和力學性能。目前，各薄膜設備制造商通過對成膜原理和工藝的研究采用各種不同的措施來減少“液滴”的產生。
其中BAI1200、RCS是采用圓形平面陰極源技術和輻射加熱技術,可進行快速鍍膜生產。利用該工藝制備的TiAlN可增強加工工具切削刃的穩定性，并使干切削加工成為可能。
真空鍍膜機設計安全
安全保護系統對任何儀器設備都是很重要的。為保證整機設備和人身安全，對于用戶來說，我們設計分配了2級的安全級別，即管理者和操作者。管理者可以修改工藝和參數，而操作者只能執行程序，查閱程序參數。
不論是工作在自動工作方式，還是手動維護方式，輸出量的互鎖保護都是非常重要的。為防止誤操作，我們設計了互鎖電路和程序互鎖的2級互鎖。條件不充分按錯鍵時，系統給予提示不執行錯誤命令。系統中還增添了某些重要參數的安全區域報警或警告。通過紅黃綠三色警示燈和訊響器的控制動作，分別實現各種情況的警示。如工藝過程中工藝氣體充氣流量稍低于設定流量時，給予黃燈訊響警告仍然繼續工作，壓力恢復后流量轉為正常，綠色指示燈亮。但當流量低于設定的下限時，紅燈點亮報警，停止工藝進程
鍍膜機通過用戶的使用和生產，證明整個程序化自動控制系統滿足了用戶的使用要求。
控制系統界面清晰友善、編程簡單、操作方便、數據查閱迅速、系統穩定可靠、工藝重復性好，光學減反射膜層的透射率等性能指標完全符合航天GaAs太陽電池的要求，并為今后提高GaAs太陽電池的減反射膜層性能提供了良好的平臺。
盡管如此，電子束蒸發鍍膜機的發展在國內已有幾十年，技術雖不斷提高，但比較國外先進技術還有一定差距。本文對電子束蒸發鍍膜機所應用的控制技術國際上雖然不是很新的技術，但此方面控制系統的應用，在國內生產的真空應用設備上還很少，且要能長期工作穩定可靠，還有很大的發展空間，這是和國內真空行業在真空應用設備上的整體發展水平相關的。
