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流量控制器基本原理

通過測量氣體流經(jīng)流量器內(nèi)加熱元件時的冷卻效應(yīng)來計(jì)量氣體流量的。氣體通過的測量段內(nèi)有兩個熱阻元件，其中一個作為溫度檢測，另一個作為加熱器。熱分布式儀表用于H2、N2、O2、CO、NO等接近理想氣體的雙原子氣體，不必用這些氣體專門標(biāo)定，直接就用空氣標(biāo)定的儀表，實(shí)驗(yàn)證明差別僅2%左右。溫度傳感元件用于檢測氣體溫度，加熱器則通過改變電流來保持其溫度與被測氣體的溫度之間有一個恒定的溫度差。當(dāng)氣體流速增加，冷卻效應(yīng)越大，使須保持熱電阻間恒溫的電流也越大。此熱傳遞正比于氣體質(zhì)量流量，即供給電流與氣體質(zhì)量流量有一對應(yīng)的函數(shù)關(guān)系來反映氣體的流量。

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流量控制器的工作壓差范圍是個什么概念?

質(zhì)量流量控制器(MFC)中設(shè)置有一個氣體流量調(diào)節(jié)閥門, 閥門能使通過控制器的流量從零調(diào)節(jié)到測量的滿量程, 在工作的過程當(dāng)中, 控制器的入口和出口之間會產(chǎn)生一個氣壓降, 即壓差。MFC的工作壓差范圍通常為0.1~0.3MPa, 若壓差低于值(0.1 MPa), 有可能控制達(dá)不到滿量程值; 若高于值(0.3MPa), 有可能關(guān)閉時流量不能小于2%F.S。(4)適用范圍寬有很寬的工作壓力范圍，我們的產(chǎn)品可以從真空直到10MPa。用戶使用MFC時, 無論用戶工作的反應(yīng)室是真空還是高壓, 應(yīng)做到使MFC進(jìn)出氣兩端的壓差保持在所要求壓差范圍之內(nèi), 并且要求氣壓要相對穩(wěn)定。

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流量控制器

質(zhì)量流量控制器在正常工作時，流體在旋轉(zhuǎn)的管內(nèi)流動時會對管壁產(chǎn)生一個力，它是科里奧利在1832年研究水輪機(jī)時發(fā)現(xiàn)的，簡稱科氏力。質(zhì)量流量計(jì)以科氏力為基礎(chǔ)，在傳感器內(nèi)部有兩根平行的T型振管，中部裝有驅(qū)動線圈，兩端裝有拾振線圈，變送器提供的激勵電壓加到驅(qū)動線圈上時，振動管作往復(fù)周期振動，工業(yè)過程的流體介質(zhì)流經(jīng)傳感器的振動管，就會在振管上產(chǎn)生科氏力效應(yīng)，使兩根振管扭轉(zhuǎn)振動，安裝在振管兩端的拾振線圈將產(chǎn)生相位不同的兩組信號，這兩個信號差與流經(jīng)傳感器的流體質(zhì)量流量成比例關(guān)系。質(zhì)量流量控制器（MassFlowController縮寫為MFC）用于對于氣體或者液體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制。計(jì)算機(jī)解算出流經(jīng)振管的質(zhì)量流量。不同的介質(zhì)流經(jīng)傳感器時，振管的主振頻率不同，據(jù)此解算出介質(zhì)密度。安裝在傳感器器振管上的鉑電阻可間接測量介質(zhì)的溫度。

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流量控制器的性能參數(shù)

流量控制器的特點(diǎn)是：當(dāng)自力式流量控制閥進(jìn)口、出口壓差變化時，通過自力式流量控制閥的流量恒定不變。

流量控制器的性能參數(shù)有：流量控制精度、工作壓差范圍、啟動壓差

工作壓差范圍指的是當(dāng)流量控制器進(jìn)口、出口壓差變化在多大范圍時，能保持通過流量控制器的流量恒定不變。行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)中規(guī)定工作壓差范圍0.03－0.3MPa，A類產(chǎn)品工作壓差范圍達(dá)到0.03－0.4MPa。2、熱探頭向測量桿構(gòu)架的導(dǎo)熱02隨著構(gòu)架材料導(dǎo)熱系數(shù)的不同，02差別很大。工作壓差范圍的大小取決于自力式流量控制閥的設(shè)計(jì)。

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