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發布時間:2020-12-04 15:37  
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具體工藝對溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來越精細,所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規模集成電路生產的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時要求濕度值一般較低,因為人出汗以后,對產品將有污染,特別是怕鈉的半導體車間,這種車間不宜超過25度。根據不同藥品檢驗實驗室的條件和要求,檢測實驗室的通風系統常采用驚訝傳感自動變頻控制(或PLC編程控制)和變風量系統(VAV)控制方式兩種方式,使實驗室內空氣達到標準,為藥品檢驗實驗室工作人員提供舒適、順暢、便捷的工作環境。
空氣分子控制主要應對空氣分子污染(AMC),這類污染的控制要比粒子污染困難許多。說到粒子污染的控制,先要確定粒子的粒徑與個數,然后才能進行相應的設計。只是對于空氣分子污染,需要控制的除了芯片線寬外,還有工藝、設備、材料與傳送系統等,所以這類污染的控制一直就是業界的難題。總體上來說,正是因為很難有效控制空氣分子污染,致使該問題成為了影響相關產品成品率的重要問題。此外,濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學吸附在表面耐難以清除。
在實驗室這種專業性極高的場合,外觀反而是其次的要求。同時,實驗室的裝修也不會去強調美觀時尚或者溫馨的效果,而是要顯示出專業化的特點。可以選擇純色PVC地板或者是仿石材的PVC地板,外觀效果都比較合適。對于實驗室地坪的施工,也有大部分的實驗室采用防腐環氧地坪。環氧防腐地坪既能應對高強度的叉車作業,而且具有很強的抗化學腐蝕性,滿足實驗室中的特殊要求。門與門之間的間隙是密封的,在門葉頻繁開啟和關閉的情況下,除一些外門碰撞外,門葉上可以完全設置密封條,以避免重型設備等的碰撞,彈性密封條的小部分應鋪設在門的隱蔽槽中,門葉的關閉和按壓應通過腳踏或敲擊以及行人和運輸的影響進行。
密封結構的所有安裝間隙必須用硅膠密封。密封膠應是直和光滑的,沒有中斷,暴露和毛刺。涂膠環境溫度應在0℃以上。門與門之間的間隙是密封的,在門葉頻繁開啟和關閉的情況下,除一些外門碰撞外,門葉上可以完全設置密封條,以避免重型設備等的碰撞,彈性密封條的小部分應鋪設在門的隱蔽槽中,門葉的關閉和按壓應通過腳踏或敲擊以及行人和運輸的影響進行。密封條應沿活動間隙周邊連續鋪設,使門關閉后形成一圈密封齒形密封線。為了避免電壓瞬變、瞬時停電、電壓不足等現象,可以根據需求選用不間斷電源(UPS)。