一般來說,百級凈化無塵車間,要求每立方米空氣中,0.5微米的容許粒子數小于3520個,5微米的容許粒子數小于293個。千級凈化無塵車間,則要求每立方米空氣中,0.5微米的容許粒子數小于35200個,5微米的容許粒子數小于2930個。萬級凈化無塵車間,要求每立方米空氣中,0.5微米的容許粒子數小于352000個,5微米的容許粒子數小于29300個。
光學微電子凈化工程一般包括:潔凈生產區潔凈輔助間(包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等)風淋室管理區(包括辦公、值班、管理和休息等)設備區(包括凈化空調系統應用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設備用房)光學微電子凈化工程凈化原理氣流→初效空氣過濾器凈化→空調→中效空氣過濾器凈化→風機送風→管道→空氣過濾器凈化風口→吹入房間→帶走塵埃細菌等顆粒→回風百葉窗→初效空氣過濾器凈化重復以上過程,即可達到凈化目的。
無塵車間風淋室是人進到無塵車間所的安全通道,其吹出的潔凈空氣可去除人與貨物所攜帶的塵埃,能有效的阻斷或減少塵源進入潔凈區。無塵車間內風淋室的應用和管理方法有一下幾點。無塵車間風淋室的應用:在進入無塵車間前要先脫掉外套,手機手表等物品放儲藏室進無塵車間需要穿凈化無塵衣、戴好帽子、防護口罩等進入風淋室后馬上自動關閉不銹鋼風淋板,紅外感應(語音控制/身體能源)磁感應自動起動,吹淋15秒(原廠已設定)。注意事項:吹淋工作時不可以另外開啟2個鋁合金門,如果強制開啟會毀壞智能鎖密碼,風淋室二門是電子器件自鎖互鎖操縱。