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發(fā)布時間:2021-08-14 17:03  
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電子特種氣體種類多,應用領域廣泛。 電子特種氣體在半導體整個制程應用中成本占比僅為 5%~6%,但是由于其品種繁多,在半導體制程工藝中覆蓋廣泛,因此成為衡量半導體技術的核心產(chǎn)品。為了提高氣體穩(wěn)定性和保質期,天然1氣公司已經(jīng)開發(fā)出各種技術,以化任何局部活性位點在鋁氣瓶中催化表面的潛在效力,然后再填充特種氣體。特種氣體興起于60年代中期,作為基礎化工材料,主要運用于大型石油化工、半導體器件、光導纖維、激光、臨床診斷、水果催熟、食品保鮮等領域。隨著新產(chǎn)品技術的發(fā)展,其應用范圍也越來越廣泛。
特種氣體是指那些在特定領域中應用的,對氣體有特殊要求的純氣,高純氣或由高純單質氣體配制的二元或多元混合氣。作為基礎化工材料,特種氣體隨著新產(chǎn)品技術的發(fā)展,應用范圍越來越廣泛。隨著國產(chǎn)化的推進,部分種類的電子特種氣體慢慢形成規(guī)模效應,占據(jù)市場半壁江山。一些常規(guī)的特氣產(chǎn)品,中國的產(chǎn)能甚至可以滿足全球范圍內的需要,但需清醒的看到,從核心競爭力,質量管理,品牌效應方面來說,我們仍然處于低水平區(qū)間。工業(yè)上,把常溫常壓下呈氣態(tài)的產(chǎn)品統(tǒng)稱為氣體產(chǎn)品.氣體產(chǎn)品種類繁多,大致可以分為一般工業(yè)氣體和特種氣體兩大類.一般工業(yè)氣體產(chǎn)銷量大,但對純度要求不高.特種氣體產(chǎn)銷量雖小,但根據(jù)不同的用途。

特種氣體分類:標準氣體嚴格意義上應稱為標準校正氣體,是一種高度均勻, 穩(wěn)定性良好和量值準確的氣體,可分為單元標準氣體和多元標準氣體,目前標準氣基本 滿足了我國石油、化工、環(huán)保、傳感器校核等諸多領域的需求,特種標準氣體嚴格意義上應稱為標準校正氣體,是一種高度均勻,穩(wěn)定性良好和量值準確的氣體,它可以是單一的純氣體或高純氣體,也可以是由多組分氣體配制而成的混合氣體。標準氣體屬于標準物質之一,故又稱為氣體標準物質。特種氣體在集成電路領域的應用:特種氣體是半導體材料制造過程不可缺少的基硅性支撐材料,處于半導體產(chǎn)業(yè)鏈的 上游,被稱為半導體的“源”,主要應用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴散等工藝。
