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氣體傳輸泵氣體傳輸泵是一種能使氣體不斷的吸入和排出，借以達到抽氣目的的真空泵，這種泵基本上有兩種類型：變容真空泵利用泵腔容積的周期性變化來完成吸氣和排氣過程的一種真空泵，氣體在排出前被壓縮。羅茨真空泵(RootsVacuumPump)是一種旋轉式變容真空泵，須有前級泵配合方可使用在較寬的壓力范圍內，有較大的抽速，對被抽除氣體中含有灰塵和水蒸汽不敏感。這種泵分為往復式及旋片式兩種：（1） 往復式真空泵：是利用泵腔內活塞做往復式運動，將氣體吸入、壓縮并排出。因此，又稱為活塞式真空泵。（2） 旋片式真空泵：是利用泵腔內活塞做旋轉運動，將氣體吸入、壓縮并排出。

干泵：國外干泵市場的不斷增長，其主要驅動來自于半導體行業、化學工業、薄膜產業的迅速發展。氣體捕集泵這種泵是一種是氣體分子被吸附或凝結在泵的內表面上，從而減小了容器內的氣體分子數目而達到抽氣目的的真空泵，有以下幾種型式。在日本，半導體行業已全部用干式真空泵代替油封式機械泵，歐美半導體行業45%以上用干式真空泵代替了油封式機械泵，大大提高了產品的性能和質量。為了滿足不同應用領域和不同工況的要求，國外有多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等。極限壓力從10Pa～10-2Pa，抽速從20m3/h～500m3/h。

選型真空泵的作用就是從真空室中抽除氣體分子，降低真空室內的氣體壓力，使之達到要求的真空度。概括地講從大氣到極高真空有一個很大的范圍，至今為止還沒有一種真空系統能覆蓋這個范圍。如：某真空干燥工藝要求10mmHg的工作真空度，選用的真空泵的極限真空度至少要2mmHg，要能達到1mmHg。因此，為達到不同產品的工藝指標、工作效率和設備工作壽命要求、不同的真空區段需要選擇不同的真空系統配置。為達到很好的配置，選擇真空系統時，應考慮下述各點：首先必須檢查確定每一種工藝要求的真空度。因為每一種工藝都有其適應的真空度范圍，必須認真研究確定之。

羅茨泵的工作原理及其結構特點

羅茨泵是一種雙轉子的容積式真空泵。08mbar的終l極壓力之間，都可運轉使用．所以LEYBOLDPUMP的應用范圍很廣，如食品包裝、金屬工業、石化工業、真空熱處理、真空吸著、藥劑科技、電子科技、半導體工業、真空電鍍、航太工業等用途。在泵腔內有兩個形狀對稱的轉子，轉子形狀有兩葉、三葉和四葉的。兩個轉子彼此朝相反方向旋轉，由軸端齒輪驅動同步轉動。轉子彼此無接觸，轉子與泵腔壁也無接觸，其間通常有0.15~1.0mm的間隙，泵腔靠間隙來密封。

由于羅茨泵泵腔內無摩擦，轉子可高速運轉，一般為1500~3000r/min，而且不必用潤滑油，可實現無油清潔的抽氣過程。真空度低，這不僅是因為受到結構上的限制，更重要的是受工作液飽和蒸氣壓的限制。泵的潤滑部位僅l限于軸承和齒輪，以及動密封處。泵沒有往復運動部件，故可實現良好的動平衡。因而，羅茨泵運轉平穩，轉速高，尺寸小可獲得大的抽速。