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發(fā)布時間:2021-09-09 19:23  
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無塵凈化車間工程,由中央空調(diào)和空氣凈化系統(tǒng)組成,它們就是凈化系統(tǒng)的心臟。主要控制無塵凈化車間空氣灰塵微粒數(shù),調(diào)節(jié)車間溫度和溫度。) 風(fēng)淋室、更衣室、凈化間是車間凈化系統(tǒng)的三個基本組成部分。風(fēng)淋室是進出潔凈區(qū)的通道,利用噴出的高速潔凈氣流,可以有效并且迅速地清除人體所帶的塵埃及細菌。凈化間采用夾層彩鋼板隔離空間以及墻壁,上部彩鋼天花吊頂,地板用環(huán)氧樹脂鋪成。

無塵車間的溫濕度主要是根據(jù)您的加工工藝要求來確定,在滿足加工工藝的條件下,應(yīng)該考慮人的舒適感。隨著空氣潔凈度要求的提高,工藝對溫濕度的要求也越來越高,必須達到一定的溫濕度等級。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100um的硅片,溫度上升1度,就引起了0。

對無塵室C/R而言,較嚴格要求的部分為地板、天花板,以及墻壁的部分。至于維修的問題,對材料的選擇是否容易清潔性及維修性都應(yīng)有其優(yōu)先級。在應(yīng)用力面、天花板、地板及墻壁三者之中很重要的為天花板,其包含HEPA及ULPA等濾網(wǎng),其可過濾掉房間的微粒子,且其常會因各個不同的需要,便其分開來,供應(yīng)各個不同區(qū)域的小房間,曾有人說:若建造之預(yù)算因某種原因被限制,除了少數(shù)的小錢外,其天花板將趨于更貴的地步,其實天花板是一個頗復(fù)雜的系統(tǒng)其必須嚴格地過濾粒子,故其設(shè)計必須準確。
