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發布時間:2020-11-15 09:50  
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化學氣相沉積工藝是這樣一種沉積工藝,被沉積物體和沉積元素(單元或多元)蒸發化合物置于反應室,當高溫氣流進入反應室時,可控制的反應室可使其發生一種合適的化學反應,導致被沉積物體的表面形成一種膜層,同時將反應產物及多余物從反應室蒸發排除。
鍍膜機工藝在防偽技能中的運用防偽膜品種許多,從運用辦法可分為反射式和透射式;從膜系附著辦法能夠分為直接鍍膜式、直接鍍膜式或直接鍍膜剪貼式。
氣相沉積主要分為兩大類:
化學氣相沉積(,簡稱CVD);
物理氣相沉積(,簡稱PVD)。
,人們利用易揮發的液體TiCI稍加熱獲得TiCI氣體和NH氣體一起導入高溫反應室,讓這些反應氣體分解,再在高溫固體表面上進行遵循熱力學原理的化學反應,生成TiN和HCI,HCi被抽走,TiN沉積在固體表面上成硬質固相薄膜。人們把這種通過含有構成薄膜元素的揮發性化合物與氣態物質,在固體表面上進行化學反應,且生成非揮發性固態沉積物的過程,稱為化學氣相沉積(,CVD)。
人們把等離子體、離子束引入到傳統的物理氣相沉積技術的蒸發和濺射中,參與其鍍膜過程,同時通入反應氣體,也可以在固體表面進行化學反應,生成新的合成產物固體相薄膜,稱其為反應鍍。
在濺射鈦(Ti)等離子體中通入反應氣體N2后合成TiN就是一例。
這就是說物理氣相沉積也可以包含有化學反應。又如,在反應室內通入,借助于w靶陰極電弧放電,在Ar,W等離子體作用下使分解,并在固體表面實現碳鍵重組,生成摻W的類金剛石碳減摩膜,人們習慣上把這種沉積過程仍歸入化學氣相沉積,但這是在典型的物理氣相沉積技術——金屬陰極電弧離子鍍中實現的。