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發布時間:2021-06-17 10:27  
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影響碳化硅坩堝使用壽命的一些因素。
1、坩堝材質的化學成分和物理、化學特性對坩堝的使用壽命有很大的影響。
2、坩堝容量,感應爐坩堝的使用壽命隨其容量的增大而下降。
3、坩堝的工作狀況,連續冶煉和間歇冶煉對坩堝的使用壽命有很大的影響。
4、坩堝的制作工藝,制作坩堝的各個環節的操作質量對坩堝的使用壽命有著重要的影響
坩堝首先原材料是石英和焦炭以及木屑等作為原材料,在電爐中高溫鍛造而成,因此碳化硅又名金剛砂,純凈物為透明無色的一種晶體,如果還有少了的雜質,就會呈現出淺黃色或者灰色和灰藍色。由于碳化硅的緊密結構,所以質地堅硬,硬度僅次于天然的金剛石,可見它的硬度之大。不僅如此,此材質的熔點高達2700攝氏度。用這種材料制作出來的坩堝耐火度大大的提高,單位體積的密度也增大,具有傳熱快,耐酸堿以及抗1氧化性等特點。而且碳化硅坩堝比石墨坩堝的壽命長三到五倍。作為坩堝在生產過程中是必不可少的裝備,其工作效率高低直接影響著產品的生產質量。
現代拉單晶的坩堝一般是采用電弧法生產,半透明狀,是拉制大直徑單晶硅,發展大規模集成電路必不可少的基礎材料。現代的石英坩堝則存在二種結構,外側是一層具有高氣泡密度的區域,稱為氣泡復合層,內側則是一層3~5mm的透明層,稱之為氣泡空乏層。氣泡復合層的目的是在與均勻的輻射有加熱器所提供的輻射熱源。氣泡空乏層的目的在于降低與溶液接觸區域的氣泡密度,而改善單晶生長的成功率及晶棒品質。1、坩堝材質的化學成分和物理、化學特性對坩堝的使用壽命有很大的影響。
坩堝的生產原料,可概括為三大類型。一是結晶質的天然石墨,二是可塑性的耐火黏土,三是經過煅燒的硬質高嶺土類骨架熟料。從2008年開始,開始采用耐高溫的合成材料,可直接受熱,加熱后不能驟冷,用坩堝鉗取下,坩堝受熱時放在泥三角上,蒸發時要攪拌;潤福鑫坩堝廠在生產坩堝時嚴格按照坩堝國家標準進行生產制造,所生產的坩堝型號符合國家標準,并且坩堝密度經過坩堝廠實驗得出一個臨界值,這個臨界的坩堝密度對于坩堝使用壽命是較長的。將近蒸干時用余熱蒸干,坩堝可分為石墨坩堝、粘土坩堝和金屬坩堝三大類