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發(fā)布時(shí)間:2021-03-21 10:14  
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流量控制器優(yōu)點(diǎn)
熱式質(zhì)量流量器可測量低流速(氣體0.02~2m/s)微小流量;浸入式熱式質(zhì)量流量計(jì)可測量低~中偏高流速(氣體2~60m/s),插入式熱式質(zhì)量流量計(jì)更適合于大管徑。
熱式質(zhì)量流量計(jì)無活動(dòng)部件,無分流管的熱分布式儀表無阻流件,壓力損失很小;帶分流管的熱分布式儀表和浸入性儀表,雖在測量管道中置有阻流件,但壓力損失也不大。
熱式質(zhì)量流量計(jì)使用性能相對可靠。與推導(dǎo)式質(zhì)量流量儀表相比,不需溫度傳感器,壓力傳感器和計(jì)算單元等,僅有流量傳感器,組成簡單,出現(xiàn)故障概率小。
熱分布式儀表用于H2 、N2 、O2、CO 、NO等接近理想氣體的雙原子氣體,不必用這些氣體專門標(biāo)定,直接就用空氣標(biāo)定的儀表,實(shí)驗(yàn)證明差別僅2%左右;用于Ar、He等單原子氣體則乘系數(shù)1.4即可;用于其他氣體可用比熱容換算,但偏差可能稍大些。
氣體的比熱容會(huì)隨著壓力溫度而變,但在所使用的溫度壓力附近不大的變化可視為常數(shù)。
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流量器安裝使用注意事項(xiàng)
前置直管段
1)熱分布式 本類儀表對上下游配管布置不敏感,通常認(rèn)為無上下游直管段長度要求。流量器安裝使用注意事項(xiàng)前置直管段1)熱分布式本類儀表對上下游配管布置不敏感,通常認(rèn)為無上下游直管段長度要求。國際標(biāo)草案ISO/DIS 11451認(rèn)為流量測量不受旋轉(zhuǎn)流和流速場剖面畸變影響。然而BS 7405卻認(rèn)為;①上下游直管段長度可小至2D;②在進(jìn)口端置一金屬(或塑料)網(wǎng),可有效地改善流速分布畸變,得到分布均勻的氣流;③要防止從小管徑突然擴(kuò)大進(jìn)入較大口徑儀表,要緩慢過渡。
2)浸入式 帶測量管的浸入式流量傳感器和插入式儀表需要一定長度前置直管段,ISO/DIS 14511對此未作具體規(guī)定,而按制造廠建議的值。除正常安裝要求外,要特別注意減少振動(dòng)影響,因?yàn)橘|(zhì)量流量控制器是基于振動(dòng)原理工作的,外加振動(dòng)會(huì)引入干擾。BS 7405建議對于在管道中用插入熱絲流速計(jì)時(shí),需要(8~10)D的上游直管段和(3~5)D的下游直管段。表4列舉Sierra公司對帶測量管浸入式TMF所規(guī)定的上直管段長度;若在其進(jìn)口端裝一塊或二快多孔板式流動(dòng)調(diào)整器(整流器)后,則其長度可大為縮短。
流量控制器在高壓條件下如何使用?
質(zhì)量流量控制器的工作壓差范圍通常比較小, 要在高壓條件下正常使用需要特別注意三點(diǎn): 一, 是要選擇耐壓符合要求的MFC; 二, 是要挑選工作壓差范圍大的產(chǎn)品型號; 三, 要在MFC氣路前面加減壓閥, 穩(wěn)定入口氣壓, 在MFC下游加背壓閥, 穩(wěn)定反應(yīng)室和MFC出口的氣壓, 適當(dāng)調(diào)節(jié)減壓閥和背壓閥, 要保證MFC的工作壓差不會(huì)超過規(guī)定的范圍。將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大,放大后的流量檢測電壓與設(shè)定電壓進(jìn)行比較,再將差值信號放大后去控制調(diào)節(jié)閥門,閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。只要做到以上三點(diǎn), MFC就能夠在高壓條件下穩(wěn)定工作。
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