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發布時間:2020-11-05 06:47  
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真空設備檢漏
聽音法
氣體從小孔中噴出時,會發出聲音。聲音的大小和頻率取決于泄漏率的大小、兩側的壓力、壓差和氣體的種類等。根據氣體漏出時發出的聲音判斷有無泄漏。
該方法的靈敏度很大程度上受環境的影響。真空設備檢漏與維修隨著壓力容器出口產品的增加及各制造企業對產品質量的重視,氦質譜檢漏方法在我國的壓力容器制造業中的應用也逐年遞增。若工廠噪音較大,則小的聲音就不易聽清。使用聽診qi,某種程度上可以消除周圍噪音的影響,聽清泄漏聲音,但有時與泄漏無關的聲音(例如電機的聲音)也會混雜進來,從而影響檢漏靈敏度。為了辨別較小的聲音,可用話筒和放大器將聲音放大。但此時其它聲音也同時放大,多數情況下較難收到好的效果。在檢測壓力為0.3MPa,周圍非常安靜的條件下,可以聽出5′10-2cm3/s的泄漏率的聲音。
這種方法既簡單、經濟。使用聽診qi,在某種程度上可以判斷出泄漏點。如單憑耳朵聽,往往因聲波的反射或吸收,很難確定泄漏點,即發聲地點。由于檢測環境條件不同,所得到的結果可能偏差很大。因此,這種方法的穩定性和可靠性很差。應與其它檢測法并用。
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真空設備檢漏與維修
為什么要檢漏
泄漏和密封相對應
很多情況下,我們需要密封住一定的空間,防止氣體或液體在壓力的作用下,流進或流出這個空間。這些對密封性有要求的產品或設備,在投入使用前,就要先進行檢漏,使用中也要定期進行檢漏檢查。如真空設備(真空鍍膜機,液晶注入機,PVD,半導體外延等等),需要在真空條件下工作,要求在工作時,空氣不能漏進工作腔體,否則生產不能進行,或者產生次品,浪費人力物力。另外裝液體或氣體的容器(液壓氣瓶,氧氣瓶,空調冰箱中的雪種容器等等),要求在容器內外存在壓差的情況下,不能有氣體或液體漏出。如果有漏,后果嚴重,一般會造成有效物資的浪費,如有毒物資、腐蝕性氣體漏出,甚至會釀成事故。
這些對密封性有要求的產品或設備,在投入使用前,就要先進行檢漏,使用中也要定期進行檢漏檢查。
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并預先根據環境中氦的含量對檢漏儀進行標定。若需在抽真空方式下準確地找到漏孔的
位置,可以通過對可yi位置噴氦并檢驗漏率是否有明顯的上升來完成。
與抽真空方式相反,嗅探方式是通過測量待測器件內部氣體經由器壁漏孔泄漏至器件外面的氦的多少來獲得漏率的大小的。預先向待測器件內充入一定氦氣,
封閉測試端口,將嗅探探頭連接至檢漏儀,用嗅探探頭對待測器件表面的可yi部位進行掃描。例如:客戶可以先使用壓降法檢查是否存在泄漏,之后再使用氫氣檢漏儀查找出泄漏位置。如果發現漏率明顯的上升,便可判斷漏孔的位置。這種方式適合在待測器件內部無法或者不能抽真空的情形下檢漏。但是,由于嗅探方式是通過檢測器壁外的大氣來進行測量的,大氣中的氦會帶來一個較高的漏率本底。這個本底雖可通過置零來清除,但仍會降低嗅探方式的靈敏度(嗅探方式xiao可檢測漏率小于5×10-6Pa·L/s,而抽真空方式的小于5×10-10Pa·L/s)。