瓦里安分子泵性能價格行情【潽拓光電】

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5大防腐特性

嵌入式75°C加熱系統

惰性氣體吹掃

5軸控制

自動平衡系統

高通量應用

ATH 400 M,ATH 1000M,TH1300M 是專為高壓、

高通量的半導體工業以及其他薄鍍膜工藝而設計。

緊湊而現代的設計

高平均無故障時間

使用成本低

可調節轉速以優化抽氣時的參數

低噪音低振動

無需電池

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