您好,歡迎來到易龍商務(wù)網(wǎng)!
發(fā)布時間:2020-12-20 03:28  
【廣告】









半導(dǎo)體廢氣處理設(shè)備
廢氣介紹:由于半導(dǎo)體工藝對操作室清潔度要求極高,通常使用風(fēng)機抽取工藝過程中揮發(fā)的各類廢氣,因此半導(dǎo)體行業(yè)廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點。廢氣排放也以揮發(fā)為主。這些廢氣主要可以分為四類:酸性廢氣、堿性廢氣、有機廢氣和有毒廢氣。
廢氣危害:半導(dǎo)體制造工藝中產(chǎn)生的廢氣如果沒有經(jīng)過很好的處理進行排放,將造成嚴重的問題,不僅影響人們的身體健康,惡化大氣環(huán)境,造成環(huán)境污染的公害事件等,也會成為半導(dǎo)體制造中AMC污染的重要來源。
廢氣處理設(shè)備處理方法:依據(jù)這些廢氣的特性,在處理上采用水洗、氧化/燃燒、吸附、解離、冷凝等方法,針對不同污染物,可采取以下綜合處理方法:1.一般排氣系統(tǒng) 2.酸性、堿性廢氣處理系統(tǒng) 3.有機廢氣處理系統(tǒng)。
