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發布時間:2021-07-01 03:11  
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激光干涉儀的類型有哪些?
您知道激光干涉儀的類型有哪些嗎?
1、單頻激光干涉儀
從激光器發出的光束,經擴束準直后由分光鏡分為兩路,并分別從固定反射鏡和可動反射鏡反射回來會合在分光鏡上而產生干涉條紋。當可動反射鏡移動時,干涉條紋的光強變化由接受器中的光電轉換元件和電子線路等轉換為電脈沖信號,經放大后輸入可逆計數器計算出總脈沖數,再由電子計算機按計算式式中λ為激光波長(N 為電脈沖總數),算出可動反射鏡的位移量L。以三坐標測量機來說,觸發測頭理想的使用方法就是用測針要垂直地去觸測零件,當然零件完全保持垂直是不可能的,但是在觸測取點時至少須保持與零件垂直面角度在±30o以內,以防止測針觸測打滑而造成測量的精度不佳的情況產生。使用單頻激光干涉儀時,要求周圍大氣處于穩定狀態,各種空氣湍流都會引起直流電平變化而影響測量結果。
雙頻激光干涉儀
雙頻激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎上發展而來的一種外差式干涉儀。
在激光器上,加上一個約0.03特斯拉的軸向磁場。由于塞曼分裂效應和頻率牽引效應,激光器產生f1和f2兩個不同頻率的左旋和右旋圓偏振光。經1/4波片后成為兩個互相垂直的線偏振光,再經分光鏡分為兩路。加裝機床測頭系統可以縮短大部分的手動找正和脫機檢測帶來的、耗費成本的人工輔助時間,降低甚至消除人為因素導致的廢品。一路經偏振片1后成為含有頻率為f1-f2的參考光束。
更換測針(不同的三坐標測量機測量軟件方法不同),因為測針長度是測頭自動校驗的重要參數,如果出現錯誤,會造成測針的非正常碰撞,輕者碰壞測針,重則造成測頭(傳感器)損壞。
正確輸入標準球的實際直徑。從以上所敘的校驗測針的原理中可知,標準球直徑值直接影響測針寶石球直徑的校驗值,雖然這是一個小概率事件,但是對初學者來說,這也有可能發生的。