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（2）合適的粘度和良好的粘溫特性：真空泵腔內容積不斷變化而形成排氣作用，要求潤滑油應具有合適的粘度和良好的粘溫特性。

（3）良好的熱氧化安定性：真空泵不斷向高速度發展，由于滑片和泵體的高速摩擦使油溫升高，油品很容易氧化分解。而擴散泵往往處于很高的環境溫度（可達200℃）下工作，使系統內蒸汽壓升高，真空度降低，因此要求真空泵油具有良好的熱氧化安定性。

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被抽氣體種類、成分、雜質情況及系統工作時對污染的限制要求，被抽氣體性質及對污染的要求是選擇不同特性真空泵的一個重要條件。它不但與工作時泵的性能有關，而且直接與泵的工作壽命及檢修維護情況有關，特別是在化工生產中，它往往是正確選泵的一個關鍵因素。

系統被抽氣量或體積流量它是決定選擇某一類型真空泵的主要依據。

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蒸氣流泵前級配備 該類泵包含油擴散泵、油外擴散噴射泵及其增擴泵等。在主泵容許的較大 排氣管工作壓力下，前級泵需將主泵造成的較大 汽體量立即吸走，即前級泵的合理泵效務必考慮：Sq> pg .S/ pn或Qmax /pn式中,Sq——前級泵的有效抽速，L/s，和選擇高真空泵一樣，先由Sq來確定前級泵的抽速，然后再根據該抽速選定泵型；