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真空設(shè)備檢漏

聽音法

氣體從小孔中噴出時，會發(fā)出聲音。聲音的大小和頻率取決于泄漏率的大小、兩側(cè)的壓力、壓差和氣體的種類等。根據(jù)氣體漏出時發(fā)出的聲音判斷有無泄漏。

該方法的靈敏度很大程度上受環(huán)境的影響。若工廠噪音較大，則小的聲音就不易聽清。聲音的大小和頻率取決于泄漏率的大小、兩側(cè)的壓力、壓差和氣體的種類等。使用聽診qi，某種程度上可以消除周圍噪音的影響，聽清泄漏聲音，但有時與泄漏無關(guān)的聲音（例如電機(jī)的聲音）也會混雜進(jìn)來，從而影響檢漏靈敏度。為了辨別較小的聲音，可用話筒和放大器將聲音放大。但此時其它聲音也同時放大，多數(shù)情況下較難收到好的效果。在檢測壓力為0.3MPa，周圍非常安靜的條件下，可以聽出5′10-2cm3/s的泄漏率的聲音。

這種方法既簡單、經(jīng)濟(jì)。使用聽診qi，在某種程度上可以判斷出泄漏點(diǎn)。如單憑耳朵聽，往往因聲波的反射或吸收，很難確定泄漏點(diǎn)，即發(fā)聲地點(diǎn)。由于檢測環(huán)境條件不同，所得到的結(jié)果可能偏差很大。因此，這種方法的穩(wěn)定性和可靠性很差。應(yīng)與其它檢測法并用。

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真空設(shè)備檢漏與維修

為什么要檢漏

泄漏和密封相對應(yīng)

很多情況下，我們需要密封住一定的空間，防止氣體或液體在壓力的作用下，流進(jìn)或流出這個空間。氫氣檢漏法的工藝和方法批量生產(chǎn)的用戶采用上述控制器進(jìn)行示蹤氣體的充注，達(dá)到收到壓力后控制器會給出提示，這時操作人員即可進(jìn)行檢漏操作，然后通過控制器把氣體排出。如真空設(shè)備（真空鍍膜機(jī)，液晶注入機(jī)，PVD，半導(dǎo)體外延等等），需要在真空條件下工作，要求在工作時，空氣不能漏進(jìn)工作腔體，否則生產(chǎn)不能進(jìn)行，或者產(chǎn)生次品，浪費(fèi)人力物力。另外裝液體或氣體的容器（液壓氣瓶，氧氣瓶，空調(diào)冰箱中的雪種容器等等），要求在容器內(nèi)外存在壓差的情況下，不能有氣體或液體漏出。如果有漏，后果嚴(yán)重，一般會造成有效物資的浪費(fèi)，如有毒物資、腐蝕性氣體漏出，甚至?xí)劤墒鹿省?

這些對密封性有要求的產(chǎn)品或設(shè)備，在投入使用前，就要先進(jìn)行檢漏，使用中也要定期進(jìn)行檢漏檢查。

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北京科儀創(chuàng)新真空技術(shù)有限公司（簡稱：科儀創(chuàng)新）出資成立，創(chuàng)建于2015年，注冊資金500萬。以上內(nèi)容由北京科儀創(chuàng)新真空技術(shù)有限公司為您提供，今天我們來分享的是氫氣檢漏設(shè)備的相關(guān)內(nèi)容，希望對您有所幫助。科儀創(chuàng)新產(chǎn)品主要有：薄膜制備設(shè)備，真空冶金設(shè)備，檢漏設(shè)備，真空系統(tǒng)等非標(biāo)真空產(chǎn)品；系列分子泵，離子泵，鈦升華泵，深冷捕集泵等高真空獲得設(shè)備；系列干式渦旋泵，干式爪泵，干式螺桿泵等無油真空獲得設(shè)備；超高真空環(huán)境模擬設(shè)備等高新技術(shù)產(chǎn)品。

如何選擇檢漏方式，與檢測對象的工作環(huán)境有很大關(guān)系，盡量做到與檢測對象的工作狀態(tài)一致。超聲波轉(zhuǎn)換器由于只檢測超聲波部分，在普通工廠的噪音條件下，不受明顯干擾，因此檢漏效果很好。如檢測對象工作時內(nèi)部處于正壓，則用正壓模式，如檢測對象工作時內(nèi)部處于負(fù)壓，則用真空模式。HLT260型氦質(zhì)譜檢漏儀具有嗅探和抽真空2種檢漏模式，即正壓模式和負(fù)壓模式。詳細(xì)檢漏方法與測量工作過程如下：

在抽真空方式下，待檢漏的器件通過測試端口與檢漏儀相連，

待測器件被檢漏儀內(nèi)部的粗抽泵和分子泵抽到一定的真空（如果待測器件容積較大，則需額外的泵組一起協(xié)同作業(yè)以提高xiao率）。只要水壓不變，泄漏率大小就不會發(fā)生很大變化，因而可以獲得較為一致的結(jié)果。只需測量待測器件外部大氣通過器壁的漏孔進(jìn)入器件內(nèi)部的氦的多少便可以判斷漏率的大小。如果需要得到精que的漏率數(shù)值，則必須等待整個測量系統(tǒng)的真空達(dá)到穩(wěn)態(tài)，