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發布時間:2021-10-29 13:11  
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脈沖激光沉積簡介
脈沖激光沉積,就是將激光聚焦于靶材上一個較小的面積,利用激光的高能量密度將部分靶材料蒸發甚至電離,使其能夠脫離靶材而向基底運動,進而在基底上沉積,從而形成薄膜的一種方式。 在眾多的薄膜制備方法中,脈沖激光沉積技術的應用較為廣泛,可用來制備金屬、半導體、氧化物、氮化物、碳化物、硼化物、硅化物、硫化物及氟化物等各種物質薄膜,甚至還用來制備一些難以合成的材料膜,如金剛石、立方氮化物膜等。高能核素濺射表面的部分原子,而在入射流與受濺射原子之間,建立了一個碰撞區。
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脈沖激光沉積系統特點及優勢
可根據客戶需求定制產品,靈活性高,并提供專業的技術支持;靶臺可以安裝6個靶位,靶材更換靈活;樣品臺樣品尺寸從10x10mm樣品到2英寸樣品均適用;進樣室可以存儲多個靶和樣品;交易過程無需繁瑣的進、出關手續, 交貨期短,性價比高;
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脈沖激光沉積介紹
脈沖激光沉積,是一種用途廣泛的薄膜沉積技術。脈沖激光快速蒸發靶材,生成與靶材組成相同的薄膜。PLD 的獨特之處是能量源(脈沖激光)位于真空室的外面。這樣,在材料合成時,工作壓力的動態范圍很寬,達到10-10 Torr ~ 100 Torr。脈沖激光沉積細節介紹很多復雜氧化物薄膜在相對高的氧氣壓力(>。通過控制鍍膜壓力和溫度,可以合成一系列具有獨特功能的納米結構和納米顆粒。
另外,PLD 是一種“數字”技術,在納米尺度上進行工藝控制(A°/pulse)。
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脈沖激光沉積發展前景
由脈沖激光沉積技術的原理、特點可知,它是一種極具發展潛力的薄膜制備技術。隨著輔助設備和工藝的進一步優化,將在半導體薄膜、超晶格、超導、生物涂層等功能薄膜的制備方面發揮重要的作用;系統使用程序化的成像鏈(OpticalTrain),包括聚焦透鏡、反射鏡臺、動力反射鏡支撐架和智能視窗等,無需頻繁地校準光學組件。并能加快薄膜生長機理的研究和提高薄膜的應用水平,加速材料科學和凝聚態物理學的研究進程。同時也為新型薄膜的制備提供了一種行之有效的方法。
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