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              NR9 3000P光刻膠廠家服務為先 賽米萊德

              發布時間:2020-11-10 17:17  

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              光刻工藝重要性二

              光刻膠的曝光波長由寬譜紫外向g線→i線→KrF→ArF→EUV(13.5nm)的方向移動。隨著曝光波長的縮短,光刻膠所能達到的極限分辨率不斷提高,光刻得到的線路圖案精密度更佳,而對應的光刻膠的價格也更高。

              光刻光路的設計,有利于進一步提升數值孔徑,隨著技術的發展,數值孔徑由0.35發展到大于1。相關技術的發展也對光刻膠及其配套產品的性能要求變得愈發嚴格。

              工藝系數從0.8變到0.4,其數值與光刻膠的產品質量有關。結合雙掩膜和雙刻蝕等技術,現有光刻技術使得我們能夠用193nm的激光完成10nm工藝的光刻。

              為了實現7nm、5nm制程,傳統光刻技術遇到瓶頸,EUV(13.5nm)光刻技術呼之欲出,臺積電、三星也在相關領域進行布局。EUV光刻光路基于反射設計,不同于上一代的折射,其所需光刻膠主要以無機光刻膠為主,如金屬氧化物光刻膠。


              NR77-15000P

              9,去膠:濕法去膠,用溶劑、用NONG硫酸。據WitsView數據,雖然近三年國際LCD廠商面板出貨量有所下降,但是由于大屏顯示的市場擴增,LCD整體出貨面積變大,2016年出貨總面積達到1。負膠,98%H2SO4 H2O2 =CO CO2 H2O,正膠:BIN酮,干法去膠(ash)氧氣加熱去膠O2 =CO CO2 H2O,等離子去膠Oxygenplasma ashing,高頻電場O2---電離O- O ,  O 活性基與膠反應CO2CO H2O, 光刻檢驗


              NR9-1000py

              問題回饋:

              1.我們是LED制造商,麻煩推薦幾款可以用于離子蝕刻和Lift-off工藝的光刻膠。

              A 據我所知,Futurrex

              有幾款膠很,NR7-1500P

              NR7-3000P是專門為離子蝕刻

              設計的,NR9-3000PY可以用于Lift-off上的應用。

              2.請問有沒有可以替代goodpr1518,Micropure去膠液和goodpr顯影液的產品?

              A 美國光刻膠,Futurrex

              正膠PR1-2000A

              , 去膠液RR4,和顯影液RD6可以解決以上問題。

              3.你們是否有可以替代Shipley

              S1805的用于DVD的應用產品?

              A 我們建議使用Futurrex

              PR1-500A , 它有幾個優點:比較好的解析度,比較好的線寬控制,

              反射比較少,不需要HMDS,RIE后去除容易等~

              4. 求助,耐高溫的光阻是那一種?

              A Futurrex, NR7 serious(負光阻)Orpr1 serious(正光阻),再經過HMCTS

              silyiation process,可以達到耐高溫200度,PSPI透明polyimide,可耐高溫250度以上。

              5.厚膜光阻在鍍金應用上,用哪一種比較理想?

              A Futurrex , NR4-8000P比干膜,和其他市面上的濕膜更加適合,和理想。

              6.請教LIFT-OFF制程哪一種光阻適合?

              A 可以考慮使用Futurrex

              ,正型光阻PR1,負型光阻用NR1&NR7,它們都可以耐高溫180度,完全可以取代一般制作PATTERN的光阻。

              7.請問,那位專家知道,RIE

              Mask,用什么光阻比較好?

              A 正型光阻用PR1系列,負型光阻使用NR5,兩種都可以耐高溫180度。

              8.一般厚膜制程中,哪一種光阻適合?

              A NR9-8000P有很高的深寬比(超過4:1),一般厚膜以及,MEMS產品的高需求。

              9.在DEEP

              RIE和MASK 可以使用NRP9-8000P嗎?

              A 建議不使用,因為使用NR5-8000更加理想和適合。

              10.我們是OLED,我們有一種制程上需要一層SPACER,那種光阻適合?

              A 有一種膠很適合,美國Futurrex

              生產的NR1-3000PY

              and和

              NR1-6000PY,都適合在OLED制程中做spacers



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