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              OPTM膜厚儀專業(yè)團(tuán)隊在線服務(wù)

              發(fā)布時間:2020-10-17 03:24  

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              使用顯微光譜法在微小區(qū)域內(nèi)通過絕i對反射率進(jìn)行測量,可進(jìn)行高i精度膜厚度/光學(xué)常數(shù)分析。

              可通過非破壞性和非接觸方式測量涂膜的厚度,例如各種膜、晶片、光學(xué)材料和多層膜。 測量時間上,能達(dá)到1秒/點(diǎn)的高速測量,并且搭載了即使是初次使用的用戶,也可容易出分析光學(xué)常數(shù)的軟件


              膜厚測試儀的預(yù)熱   關(guān)機(jī)超過3個小時開機(jī)必做。點(diǎn)擊“波數(shù)”,將波譜校準(zhǔn)片放入儀器,將Ag部分移至十字線中間,鐳射聚焦,設(shè)定測量時間為6S重復(fù)測量次數(shù)為30~50次,點(diǎn)擊Go鍵,等待自動連續(xù)測量完成。


              膜厚測試儀波譜校準(zhǔn)   不關(guān)機(jī)狀態(tài)下每日必做一次或每次關(guān)機(jī)3小時以上再次重開機(jī)必做,目的讓儀器進(jìn)行自我補(bǔ)償調(diào)整。首先點(diǎn)擊任務(wù)欄中的“波譜校準(zhǔn)”,然后將波譜校準(zhǔn)片放入儀器,將Cu-Ag合金部分移至十字線中間,鐳射聚焦,測量(點(diǎn)擊Go鍵)。待膜厚測試儀器自動完成每一步,紅色STOP鍵會轉(zhuǎn)變成綠色GO鍵后,將純Ag部分移至十字線中間,鐳射聚焦,測量(點(diǎn)擊Go鍵),完成后出現(xiàn)“波譜校準(zhǔn)成功”字樣的對話框時,點(diǎn)擊“確定”即可。


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