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發(fā)布時間：2021-01-01 11:46
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凈化工程——潔凈室
潔凈室噪聲標準一般均嚴于保護健康的標準，目的在于保障操作正常進行，滿足必要的談話聯(lián)系及安全舒適的工作環(huán)境。因此衡量潔凈室的噪聲主要指標是：
1．煩惱的效應
由于噪聲，使人感到不安寧而產(chǎn)生煩惱情緒，一般分為極安靜、很安靜、較安靜、稍嫌吵鬧，比較吵鬧和極吵鬧7個煩惱等級。凡反應水平屬于很吵鬧和極吵鬧者，即為高煩惱，高煩惱人數(shù)在總?cè)藬?shù)中的百分比即為高煩惱率。
凈化工程——無塵車間
所謂的無塵車間是一個人造的環(huán)境，里面含有的粒子遠低于一般的環(huán)境，隨著集成電路技術的快速成長，也增加了對制造環(huán)境(無塵車間)潔靜度的需求，在工業(yè)上即使粒子之尺寸小于1微米，也可能阻礙產(chǎn)品的運作或降低其壽命。 由于奈米技術的興起，造成半導體關鍵尺寸持續(xù)縮小，集成電路積集度不斷的增加，塵粒更容易使芯片失效或可靠度惡化。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量之送風即可得到良好之潔凈度，可節(jié)省能源，不需人工的自動化生產(chǎn)線為最適宜使用。例如當金屬塵粒地落到金屬導線時，就可能會使金屬導線形成短路。又如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導線上，可能將其腐蝕，所以無塵車間為集成電路制造不可或缺的要素。
無塵潔凈室的氣流速度/換氣次數(shù)，一直是潔凈室設計中受到關注的問題，隨著潔凈室污染源的控制效果增加及末級過濾器效率的提高等，對有關規(guī)范、導則等提 出的推薦或參考值是否偏于保守，已有不少討論;FFU在應用中人們擔心的噪音、損壞維修等問題已在實踐中得到解決，隨著FFU的不斷改進，對是否采用 FFU回風系統(tǒng)也是個熱點：懸浮分子污染(AMC)的控制在微電子及IC工業(yè)中已日益提到日程上來，受到關注。它集承重、保溫、隔熱、隔音、防火于一體，且無需要二次裝修，安裝快捷方便，施工周期短，綜合效益好，是一種用途廣且極且潛力的gao效建材。以下對這些問題的情況分別作歸納和分析。
無塵潔凈室內(nèi)一定潔凈度下氣流速度的確定，隨潔凈室用途等具體情況而異，它不僅受室內(nèi)發(fā)塵量及過濾器效率還受其他因素影響。
