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離子泵的工作原理？

1.產生放電；電子碰撞氣體分子發生電離

2.離子注入進入鈦陰極

3.鈦陰極發生磁控濺射，在陽極上沉積鈦膜

4.氣體分子在鈦表面被吸附，然后被掩埋；愛德華磁懸浮渦輪公司

離子泵和升華泵的優點有哪些？

不需要前級泵、關閉電源后，仍有抽氣作用， 用于維持真空、耐用

離子泵和升華泵有哪些缺點？

飽和效應明顯，只能用于小負載、脫氣、對氣體有選擇性，鈦的吸附能力決定；愛德華磁懸浮渦輪公司

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風險性：泵出口做到較大 壓力，將會造成中下游管線及機器設備過壓。

保護措施：

1、核查裝置設計方案時中下游管線和機器設備是不是依照較大 壓力設計制作；愛德華磁懸浮渦輪公司

2、那麼有關的保護措施是不是具有：閥門；其他卸壓對策（放空自己、壓控）；

3、核查泵設計方案是不是充分考慮物質轉變；要是沒有考慮到，實際操作要求來避免過壓能夠傳做到作業者。愛德華磁懸浮渦輪公司

假如泵有備臺，將會備泵存有過壓的風險性：緣故：備泵通道閥關掉，出口閥沒關或漏氣時。

當然，那樣的真空度還遙遠達不上許多 物理實驗的規定。這時候就需要抬出來另一位“泵”屆巨頭，分子泵。分子泵運用靠高速運轉的動葉片和靜止不動的定葉片互相配合，給氣體分子結構一個附加的定項速率，從內腔中抽出來。普遍的試驗用分子泵滿轉速比能夠做到1500Hz，也就是一秒鐘轉1500圈。愛德華磁懸浮渦輪公司

大家采用的方法是給分子泵連接一個前面泵，一般全是用真空泵。僅有先用真空泵將內腔中的真空度抽至10Pa下列的情況下，分子泵才能夠起動。而且要是分子泵在起動情況，前面真空泵就需要一致保持運行。起動和關掉必須嚴苛遵照程序流程，不然就很有可能導致“機毀泵亡”哦。愛德華磁懸浮渦輪公司

溫度檢測將泵放置–40°C至 70°C（處在非運作情況）及其0°C至40°C（處在運作情況）下曝露86鐘頭。對每一個泵的不平衡和是不是可一切正常實際操作認證11次，數據顯示僅存有很小的基因變異，遠小于閥值。溫度檢測確認了泵在各種各樣預估運作和非運作溫度標準下的可靠性。愛德華磁懸浮渦輪公司

傅立葉振動分析在生產制造全過程中及其泵運送前的終檢測中，對每臺泵的震動頻帶開展認證。飛速下的均值較大 震動水準：0.2m/s2。愛德華磁懸浮渦輪公司