寧波廠房無塵室設備移位公司聯系方式服務介紹 卓宇泰

       無塵室中不論外在之空氣條件如何變化，其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。無塵室主要之作用在于控制產品（如硅芯片等）所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造，此空間我們稱之為無塵室。層流式空氣氣流運動成一均勻之直線形，空氣由覆蓋率100%之過濾器進入室內，并由高架地板或兩側隔墻板回風，此型式適用于無塵室等級需定較高之環境使用，一般其無塵室等級為Class1~100。按照國際慣例，無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來規定。

     復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。⑴潔凈隧道（Clean Tunnel）：以HEPA或ULPA過濾器將制程區域或工作區域100%覆蓋使潔凈度等級提高至10級以上，可節省安裝運轉費用。此型式需將作業人員之工作區與產品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響了工作及品質，ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項優點：A.彈性擴充容易； B.維修設備時可在維修區輕易執行。影響無塵室的氣流因素很多，如制程設備、人員、無塵室組裝材、照明器具等，同時對于生產設備上方氣流的分流點，亦應列入考慮因素。

    工業無塵室用途——以無生命微粒的控制為對象。無塵室（無塵廠房）主要控制空氣塵埃微粒對工作對象的污染，內部一般保持正壓狀態。5米左右，覆蓋面積約10m2以下，四支支柱并加裝活動輪，可為彈性運用。它適用于精密機械工業、電子工業（半導體、集成電路等）宇航工業、高純度化學工業、原子能工業、光磁產品工業（光盤、膠片、磁帶生產）LCD（液晶玻璃）、電腦硬盤、電腦磁頭生產等多種不同行業。

   無塵室內防止微粒子污染的基本原則：

    不發生

　　在控制大污染源--人在無塵室內的微粒子發塵量的同時，也應控制第二大污染源—制造機臺的發塵量。因物品在移動時，所產生的摩擦及接觸剝離會造成發塵，而物品在移動時也會有微粒子的發生。故為了控制發塵量達到小限度應采取以下對策：

　　減少接觸剝離發塵的動作形態；

　　采用磨耗發塵小的材質；

　　采用發塵小的潤滑油；

　　機臺應用空壓浮上的非接觸化工作原理。