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              真空鍍膜系統生產廠家高性價比的選擇【艾明坷】

              發布時間:2020-12-15 14:15  

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              ST系列鍍膜機

              ST系列鍍膜機系我司標準化產品,滿足大部分實驗室科研需求,豐富的可選配置也可響應您的特殊需要。特點:1、集成一體化結構。

              2、極限真空度高,可達7×10-5Pa,可保證更高的鍍膜純凈度,提高鍍膜質量。

              3、從大氣到工作背景真空(7×10-4Pa)時間短,30分鐘左右(充干燥氮氣)。 系統停泵關機12小時后真空度:≤8Pa。

              4、整機采用柜式結構,密封性能好,防塵防水,安全。

              5、磁控、熱蒸發多種鍍膜方式可選。

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              真空鍍膜設備的日常維護

              真空鍍膜設備的運行狀況直接影響生產工藝、產品質量和生產進程等,為了使設備的運行狀況良好,必須建立和完善設備的維護與維修制度、維護內容、維修標準等。

              設備的維護要有日常維護和定期維護

              1,日常維護就是在當天生產中發現設備有不良跡象,就馬上解決。發現機械泵的油少了就要添加,不要認為這油是定期更換的,等到了時間再維護,到時候可能泵的轉子就會磨損嚴重了。再比如工件轉架的軸承有些卡,就要更換軸承,而等到它徹底的壞了再換,問題可就大了,可能引起轉架電機燒毀等現象。但(QCM)的準確性是有限的,鍍膜機部分原因是其監測代替光學厚度的涂層質量。

              2定期維護,有人會問有了日常維護還有必要定期維護嗎?厚度均勻性主要取決于:1、基片材料與靶材的晶格匹配程度2、基片表面溫度3、蒸發功率,速率4。其實每一種設備都有自己的使用壽命,比如擴散泵用的的硅油,使用壽命為兩年左右,我就規定1年半把它換掉,這樣作是不是浪費,我覺得不浪費,從設備服務于生產來說是值得的,老板不希望看到的是機器在生產階段出現問題。只要你把日常維護和定期維護做好了,在延長設備壽命的同時,生產過程中出現故障的幾率也大大降低。生產效率也提高了。

              3,設備保養和維修1重要的是講究“細心”,每一個人都力求做到“我辦事,你放心”,也就是說我做的事情不需要別人和自己再有懷疑!真空鍍膜機檢漏要承認漏氣究竟的虛漏仍是實漏,因為工件資料加熱后都會在不同程度上發生氣體,有也許誤以為是從外部流進的氣體,這即是虛漏,要掃除這種狀況。做好這一點可少走好多彎路,其次是要善于分析現象,不能盲目的拆卸。說到這里,很多人都遇到過真空方面的漏氣問題,真空部分出現了問題很麻煩,再加上我們公司沒有檢漏儀,這就要分階段來找。



              常見的真空鍍膜材料


              氧化物一氧化硅SiO,二氧化硅SiO2,二氧化鈦TiO2,二氧化鋯ZrO2,二氧化鉿HfO2,一氧化鈦TiO,五氧化三鈦Ti3O5,五氧化二鈮Nb2O5,五氧化二鉭Ta2O5,氧化釔Y2O3,氧化鋅ZnO等高純氧化物鍍膜材料。

              其它化合物硫化鋅ZnS,硒化鋅ZnSe,氮化鈦TiN,碳化硅SiC,鈦酸鑭LaTiO3,鈦酸鋇BaTiO3,鈦酸鍶SrTiO3,鈦酸鐠PrTiO3,硫1化鎘CdS等真空鍍膜材料。

              金屬鍍膜材料高純鋁Al,高純銅Cu,高純鈦Ti,高純硅Si,高純金Au,高純銀Ag,高純銦In,高純鎂Mg,高純鋅Zn,高純鉑Pt,高純鍺Ge,高純鎳Ni,高純金Au,金鍺合金AuGe,金鎳合金AuNi,鎳鉻合金NiCr,鈦鋁合金TiAl,鋅鋁合金ZnAl,鋁硅合金AlSi等金屬鍍膜材料。現代真空鍍膜機膜厚測量及監控方法涂層的鍍膜機控制方法是最直接的石英晶體微天平(QCM)的方法,該儀器可以直接驅動的蒸發源,通過PID控制回路傳動擋板,使蒸發率。 



              真空鍍膜機檢漏

              要承認漏氣究竟的虛漏仍是實漏,因為工件資料加熱后都會在不同程度上發生氣體,有也許誤以為是從外部流進的氣體,這即是虛漏,要掃除這種狀況。

              第二,測驗好真空室的氣體密封功能,確保氣密功能符合要求。

              第三,查看漏孔的巨細,形狀、方位,漏氣的速度,制備出可處理方案并施行。

              第四,斷定檢查儀器的1小可檢漏率和檢漏靈敏性,以1大規模的檢查出漏氣狀況,防止一些漏孔被疏忽,進步檢漏的準確性。

              第五,掌握檢漏儀器的反應時刻和消除時刻,把時刻掌握好,確保檢漏儀器作業到位,時刻少了,檢漏作用必定差,時刻長了,糟蹋檢漏氣體和人工電費。

              第六,還要防止漏孔阻塞,有時因為操作失誤,檢漏過程中,一些塵埃或液體等把漏孔阻塞了,以為在該方位沒有漏孔,但當這些阻塞物因為內外壓強區別進步或別的緣由使漏孔不堵了,那漏氣仍是存在的。


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