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發布時間:2020-11-04 09:24  
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等離子干法刻蝕技術是利用等離子體進行薄膜微細加工的技術。在典型的干法刻蝕工藝過程中,一種或多種氣體原子或分子混合于反應腔室中,在外部能量作用下(如射頻、微波等)形成等離子體,干法刻蝕技術由于具有良好的各向異性和工藝可控性已被廣泛應用于微電子產品制造領域,憑借在等離子體控制、反應腔室設計、刻蝕工藝技術、軟件技術的積累與創新,北方華創微電子在集成電路、半導體照明、微機電系統、先進封裝、功率半導體等領域可提供高端裝備及工藝解決方案。形成了對硅、介質、化合物半導體、金屬等多種材料的刻蝕能力,其中應用于集成電路領域的硅刻蝕機已突破14nm技術,進入主流芯片代工廠,其余各類產品也憑借其優異的工藝性能成為了客戶的。

適于在多種金屬材料(如不銹鋼,碳鋼,硬質高速合金鋼,鋁合金,表面鍍鉻,
鍍鋅,鍍鎳)制品上直接標注字符,或印制不銹鋼標牌。用來標注產品名稱,
型號,技術指標,商標,廠名,技術標準,安全事項等內容。其特點只正規,清
晰,耐久,不脫落,不變色,操作靈活方便。標注深度約幾微米,對壁簿或精零
件也無熱應力,機械變形影響,不論平面,弧面均能標注。

1、 化學蝕刻法—用強酸或強堿溶液直接對工件未被保護部位進行化學腐蝕,這也是目前使用的一種方法,優點是蝕刻深度可深可淺,蝕刻速度很快,缺點是腐蝕液對環境有很大的污染,特別是蝕刻液不易回收。并且在生產過程中對操作工人的身體健康有害。
2、 電化學蝕刻—這是一種把工件做陽極,使用電解質通電,陽極溶解,從而達到蝕刻目的的方法,其優點在于環保方面,對環境污染很小,對操作工人的身體健康無害,缺點是蝕刻深度較小,大面積蝕刻時,電流分布不均勻,深度不易控制。
3、 激光蝕刻法—優點是線性邊沿整齊無側蝕現象,但成本很高,約為化學蝕刻法的一倍。印刷電路板行業印刷錫膏時,所用的不銹鋼絲網大多是用激光蝕刻法制作的。


產品特點
1.激光蝕刻為干式蝕刻,加工制程簡單,所有加工均由軟件自動控制,產品一致性高,良率高達99%,無耗材,環保,可靠穩定。
2.CCD相機自動定位,加工精度高。
3.設備操作簡單,圖檔更新方便,制程縮短,稼動率高。
4.設備控制軟件能夠實現自動圖檔分割,移動拼接加工,拼接精度可達±3μm
5.耗電量省,操作人員少,無污染,生產成本低。
