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發布時間:2020-08-21 16:41  
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金剛線切割技術
金剛線切割技術也被稱為固結磨料切割技術。它是利用電鍍或樹脂粘結的方法將金剛石磨料附著在鋼線表面,將金剛線直接作用于硅棒或硅錠表面產生磨削,達到切割的效果。
金剛線切割具有切割速度快,切割精度高,材料損耗低等特點。切割線的技術突破是硅片加工成本下降的重要途徑。金剛石線切割速度是普通鋼線的2 倍,因此單位產量的折舊、人工和能源成本將降低一半。

線切割設備
切割液
金剛線切割設備使用的切割液主要作用是冷卻,所以主要采取冷卻水或油基冷卻。2,、樹脂型:樹脂金剛石線是在原有鍍銅超細鋼絲線上噴涂一種增強耐磨合金、特種樹脂和金剛石超微粉的切割線,主要應用于單晶硅、多晶硅、藍寶石、水晶、陶瓷和半導體材料的切割上,能取代目前碳化硅砂漿法,解決了環境污染。使用水做切割液可以混合部分粘合劑,減輕清洗工序工作強度;另一個作用是切損硅料容易回收。油基冷卻主要是乙二醇做切割液,原理上乙二醇基的切割方法也有助于硅料的回收,但是需要相對復雜的化學方法處理,提高了回收成本。
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高速切割設備
切割行程的設置:
切割行程=樣品的長度 5mm。樹脂結合劑鋸線制造方法與樹脂結合劑砂輪的制造類似,直接將含有金剛石磨料的樹脂混合物涂敷在金屬絲表面,經過干燥后再固化。為保證將樣品切斷,通常會在樣品的實際高度之上增加5㎜。當要求對樣品進行開槽時,實際切割行程應與開槽深度相同,為保證停止切割時所開槽口深度達到要求,當切割行程達到設定行程時應暫停切割,但主軸帶動金剛石切割線繼續運行一段時間,從而使樣品未達到切割深度的位置繼續被切割,直到樣品被切割部位每一點都達到所要求的切割深度。
