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真空設備檢漏

檢漏就是用一定的手段將示漏物質加到被檢設備或密封裝置器壁的一側，用儀器或某一方法在另一側懷疑有泄漏的地方檢測通過漏孔漏出的示漏物質，從而達到檢測的目的。客戶也可以直接使用氫氣檢漏儀進行高靈敏的檢漏以避免溫度變化帶來的對壓降法檢漏的影響。檢漏的任務就是在制造、安裝、調試過程中，判斷漏與不漏、泄漏率的大小，找出漏孔的位置；在運轉使用過程中監視系統可能發生的泄漏及其變化。

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真空檢漏

超聲波法

該方法實際上是聽音法的一種。超聲波轉換器由于只檢測超聲波部分，在普通工廠的噪音條件下，不受明顯干擾，因此檢漏效果很好。它是將泄漏聲音中可聽頻率部分截掉，僅僅使超聲波部分放大，以檢測出泄漏。檢測時，可以直接使用超聲波檢測器，根據檢測儀表指針是否擺動，確定有無泄漏。也可以采用使超聲波回到可聽頻率范圍內鳴笛的方法。采用后一種原理制造的超聲波轉換器不僅在被試驗物加壓時可以使用，在抽真空時，由于吸入的空氣發出超聲波，因而，采用真空法時也可以使用。

超聲波轉換器由于只檢測超聲波部分，在普通工廠的噪音條件下，不受明顯干擾，因此檢漏效果很好。

該法的靈敏度與被試驗物體的加壓、減壓狀況、泄漏的大小、泄漏點與檢漏器（探頭）間的距離等因素有關。當泄漏點與探頭距離很近時，超聲波轉換器的靈敏度可達1′10-2cm3/s。

檢漏時將檢漏器的靈敏度調到較大，一邊移動探頭，一邊偵聽，使能聽到的超聲波發出的聲音達到較大。檢漏的任務就是在制造、安裝、調試過程中，判斷漏與不漏、泄漏率的大小，找出漏孔的位置。然后，再尋找發出超聲波的位置，以便確定泄漏點。但在探頭不易接近的地方出現泄漏時，就很準確地判斷出泄漏點。這種方法操作簡便，人為因素較小，不同檢測人員所得到的檢測結果基本相同。

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真空設備檢漏與維修

為什么要檢漏

泄漏和密封相對應

很多情況下，我們需要密封住一定的空間，防止氣體或液體在壓力的作用下，流進或流出這個空間。其結構主要由進樣系統、離子源、質量分析器、收集放大器、冷陰極電離真空計等組成。如真空設備（真空鍍膜機，液晶注入機，PVD，半導體外延等等），需要在真空條件下工作，要求在工作時，空氣不能漏進工作腔體，否則生產不能進行，或者產生次品，浪費人力物力。另外裝液體或氣體的容器（液壓氣瓶，氧氣瓶，空調冰箱中的雪種容器等等），要求在容器內外存在壓差的情況下，不能有氣體或液體漏出。如果有漏，后果嚴重，一般會造成有效物資的浪費，如有毒物資、腐蝕性氣體漏出，甚至會釀成事故。

這些對密封性有要求的產品或設備，在投入使用前，就要先進行檢漏，使用中也要定期進行檢漏檢查。

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隨著壓力容器出口產品的增加及各制造企業對產品質量的重視，氦質譜檢漏方法在我國的壓力容器制造業中的應用也逐年遞增。真空箱氫氣檢漏設備真空打檢機/真空檢漏機采用聲學技術，非接觸式在線檢測方式，速度800瓶每分鐘。氦質譜檢漏方法（以下簡稱氦檢）以其高靈敏度和準確性而通常應用于整體防漏等級較高的壓力容器上。氦檢方法基本上可分為用氦氣內部加壓法和設備內部抽真空外部施氦這兩種，由于后者需將設備完全抽成真空狀態,往往會增加試驗用設備（如高、低壓真空泵、真空閥等）和設備工裝（如外壓加強圈）而使造價提高，所以該方法通常用于容積小而厚壁的設備；對于大多數壓力容器而言，通常優先選用前一種方法。

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