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              金屬化學氣相沉積誠信企業「拉奇納米」

              發布時間:2021-07-27 08:05  

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              真空鍍膜應用,簡單地理解就是在真空環境下,利用蒸鍍、濺射以及隨后凝結的辦法,在金屬、玻璃、陶瓷、半導體以及塑料件等物體上鍍上金屬薄膜或者是覆蓋層。相對于傳統鍍膜方式,真空鍍膜應用屬于一種干式鍍膜。真空條件下制備薄膜,環境清潔,膜不易受到污染,因此,可獲得致密性好、純度高、膜層均勻的膜。

              物理氣相沉積:在真空狀態下,鍍膜材料經蒸發或濺射等物理方法氣化,沉積到基片上的一種制取膜層的方法。


              真空鍍膜技術一般分為兩大類,即物理氣相沉積技術和化學氣相沉積技術。

              物理氣相沉積技術是指在真空條件下,利用各種物理方法,將鍍料氣化成原子、分子或使其離化為離子,直接沉積到基體表面上的方法?;瘜W氣相沉積技術是把含有構成薄膜元素的單質氣體或化合物供給基體,借助氣相作用或基體表面上的化學反應,在基體上制出金屬或化合物薄膜的方法,主要包括常壓化學氣相沉積、低壓化學氣相沉積的等離子化學氣相沉積等。



              真空鍍膜的均勻性已經相當好,可以輕松將粗糙度控制在可見光波長的1/10范圍內,也就是說對于薄膜的光學特性來說,真空鍍膜沒有障礙。

              鍍的膜并非是想要的膜的化學成分,這也是真空鍍膜的技術含量所在。

              真空鍍膜的物理過程

              基本原理可分為三個工藝步驟:

              鍍料的氣化:即鍍料的蒸發、升華或被濺射從而形成氣化源

              鍍料粒子((原子、分子或離子)的遷移:由氣化源供出原子、分子或離子經過碰撞,產生多種反應。

              鍍料粒子在基片表面的沉積