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發布時間:2020-12-17 12:27  
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什么是流量控制器
質量流量控制器,即MassFlowController(MFC),不但具有質量流量計的功能,更重要的是,它能自動控制氣體流量,即用戶可根據需要進行流量設定,MFC自動地將流量恒定在設定值上,即使系統壓力有波動或環境溫度有變化,也不會使其偏離設定值。脈動引起的測量誤差通常使儀表輸出偏高,其程度取決于脈動幅值和頻率。質量流量控制器(Mass Flow Controller縮寫為MFC)用于對于氣體或者液體的質量流量進行精密測量和控制。擴散,氧化,分子束外延,CVD,等離子刻蝕,濺射,離子注入,以及真空鍍膜設備,光纖熔煉,微反應裝置,混氣配氣系統,毛細管測量氣象色譜儀,光導纖維制造設備中。并廣泛用于石油化工。冶金,制藥等。特點:精度高,重復性好。
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流量控制器的特點
地定量控制流量
質量流量控制器可以地控制氣體的給定量,這對很多工藝過程的流量控制、對于不同氣體的比例控制等特別有用。
適用范圍寬
有很寬的工作壓力范圍,我們的產品可以從真空直到10MPa; 可以適用于多種氣體介質(包括一些腐蝕性氣體,如HCL);有很寬的流量范圍,我們的產品流量范圍可達0~5 sccm,流量范圍可達0~200 slm。質量流量控制器具有體積小,數字化程度高,安裝方便,測雖確等優點。流量顯示的分辨率可達滿量程的0.1%, 流量控制范圍是滿量程的2~100% 量程比為-- 50:1, 因此在很多領域得到廣泛應用。
流量控制器安全使用準則
①質量流量控制器應用的成功與否,與安裝有直接關系。用戶使用MFC時,無論用戶工作的反應室是真空還是高壓,應做到使MFC進出氣兩端的壓差保持在所要求壓差范圍之內,并且要求氣壓要相對穩定。除正常安裝要求外,要特別注意減少振動影響,因為質量流量控制器是基于振動原理工作的,外加振動會引入干擾。但盡可能小的外界干擾對測量無疑是有益的,所以對來自管線及現場環境的振動要盡量設法避免。
②儀表使用過程中在使用條件下有必要進行準確的零點標定,質量流量控制器屬于在線使用的高度測量儀表,零點的漂移對測量結果有影響,長期使用時一定要定期進行標定。
③一定要避免超過使用質量流量控制器范圍的情況發生,這會引起儀表測量度的下降,嚴重時會導致儀表損壞。例如由于超過儀表使用溫度范圍的蒸汽掃線等操作,將會使檢測線圈損壞而使儀表無法再使用。
④質量流量控制器度高,其價格也很高,這就要求對其精心維護,如給其配備高質量的穩壓電源,對現場的振動及使用條件進行經常檢查等,以保證度及儀表的安全。
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分析流量控制器的應用領域
分流器決定主通道的流量。質量流量控制器抗干擾能力強,測量精度高、量程比大、工作穩定可靠、對安裝要求低、對流體狀態要求低,壓力損失小等優點,且易清洗、具備自排空功能。與它配套的流量顯示儀上設置有穩壓電源,數字電壓表,設定電位器,外設、內設轉換和三位閥控開關等。質量流量控制器抗干擾能力強,測量精度高、量程比大、工作穩定可靠、對安裝要求低、對流體狀態要求低,壓力損失小等優點,且易清洗、具備自排空功能。
其基本技術指標已達到先進水平,每臺傳感器都由不銹鋼材料制造,多種輸出能滿足您的各種需求。當用于大流量測量時,可采用分流的方法,即僅測量分流部分流量,再求得總流量,以擴大量程范圍。可直接用來測量管道中介質的質量流量及總量、體積流量及總量、介質的密度、溫度、溶液的濃度以及較均勻混合的兩種液體各自的濃度等參數。質量流量控制器即使在惡劣的工作環境下也能表現出優異的性能
提高流量測量系統的可靠性用于安全聯鎖報警的流量儀表如果不可靠,應該聯鎖動作時不動作,容易釀成事故,不該動作時亂動作,容易導致不應有的停車,造成損失。質量流量控制器(MFC)中設置有一個氣體流量調節閥門,閥門能使通過控制器的流量從零調節到測量的滿量程,在工作的過程當中,控制器的入口和出口之間會產生一個氣壓降,即壓差。工業爐窯中的燃料流量計如果不可靠,造成流路堵塞,容易導致爐子熄火,釀成事故。用于過程控制的質量流量控制器儀表如果不可靠,容易為調節系統發出錯誤信息,導致調節系統失調,破壞生產過程的穩定,影響產品的質量、產量和物耗,造成損失。可以看出,流量儀表的可靠性是較為重要的。