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發布時間:2021-08-30 04:06  
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光刻膠相關信息
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光刻膠是印刷線路板、顯示面板、集成電路等電子元器件的上游。光刻膠產業鏈覆蓋范圍非常廣,上游為基礎化工材料行業、精細化學品行業,中游為光刻膠制備,下游為電子加工廠商、各電子器產品應用終端。由于上游產品直接影響下游企業的產品質量,下業企業對公司產品的質量和供貨能力十分重視,常采用認證采購的模式,進入壁壘較高。
在下游半導體、LCD、PCB等行業需求持續擴大的拉動下,光刻膠市場將持續擴大。2018年全球光刻膠市場規模為85億美元,2014-2018年復合增速約5%。據IHS,未來光刻膠復合增速有望維持5%。按照下游應用來看,目前半導體光刻膠占比24.1%,LCD 光刻膠占比26.6%,PCB 光刻膠占比24.5%,其他類光刻膠占比24.8%。
微流控芯片硅片模具加工如何選擇光刻膠呢?
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一般來說線寬的用正膠,線窄的用負膠,正性光刻膠比負性的精度要高,負膠顯影后圖形有漲縮,負性膠限制在2~3μm.,而正性膠的分辨力優于0.5μm 導致影響精度,正性膠則無這方面的影響。雖然使用更薄的膠層厚度可以改善負性膠的分辨率,但是薄負性膠會影響。同種厚度的正負膠,在對于抗濕法和腐蝕性方面負膠更勝一籌,正膠難以企及。
正性光刻膠的結構
光學光刻膠通常包含以下三種成分:(1)聚合物材料(也稱為樹脂)。聚合物材料在光的輻照下不發生化學反應,其主要作用是保證光刻膠薄膜的附著性和抗腐蝕性,同時也決定著光刻膠薄膜的其他一些特性(如光刻膠的膜厚要求、彈性要求和熱穩定性要求等)。(2)感光材料。感光材料一般為復合性物質(簡稱PAC或感光劑)。感光劑在受光輻照之后會發生化學反應。正膠的感光劑在未曝光區域起抑制溶解的作用,可以減慢光刻膠在顯影液中的溶解速度。以正性膠為例,使用g射線和i射線光刻中的正性膠是由重氮醌(簡稱為DQ)感光劑和酚樹脂構成。(3)溶劑(如丙二醇-,PGME)。溶劑的作用是使光刻膠在涂覆到硅片表面之前保持為液態
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