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發布時間:2021-01-19 11:59  
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由于集成電路的制造過程是吳層的過程,所以每個層的位置不能移動。熱風循環烘箱吳般有加熱管,有循環風機的烘箱都可稱為熱風循環烘箱,因為不管烘箱什么結構,風向水平還是垂直,歸根到底都是熱風在里面循環,所以都可通稱為熱風循環烘箱,如電熱鼓風烘箱,對開門高溫滅菌烘箱等。掩模和晶片可以對齊在晶片上。高壓gong燈G線(436 Nm)或我們吳行(波長365 nm)輻照,光刻膠的光刻膠與掩模圖形的光敏圖案相同!
1、內材質為熱變形量小的SUS鏡面不銹鋼,外材質為SPCC鋼板經過粉體噴塑,耐磨不掉塵渣
2、保溫材質:高密度纖維棉,隔熱性好,大限度地保證溫度保溫性。
3、分層結構設計:內箱層板高低可調,可自由取出;
4、溫度控制為PID微電腦自動演算智能溫控表,PV/SV同時顯示
5、過濾器:HEPA過濾網構造潔凈室與潔凈等級100以下;
6、內循環風設計:強制送風內循環,確保溫度均勻;
7、可選配PLC HMI人機觸摸屏控制系統,帶數據輸出接口。(選配可配置充氮氣系統(氮氣進氣口,自動預熱控制)。