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發布時間:2020-12-25 16:39  
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有機高純氣體
烷烴類:(CH4)、乙烷(C2H6)、丙烷(C3H8)、環丙烷(cyc-C3H6)、正丁烷(n-C4H10)、異丁烷(i-C4H10)、正戊烷(n-C5H12)、新戊烷(neo-C5H12)、氯(CH3Cl)、氯乙烷(C2H5Cl)、三氟(CHF3)、環氧乙烷(C2H4O)、砷烷(AsH3)、磷烷(PH3)、硼烷(B2H6)、硅烷(SiH4)等
2)使用時,首先要做外部檢查,檢查重點是瓶閥、按管螺紋、減壓器等。如果發現有漏氣、滑扣、表針動作不靈或“爬高“等,應及時維修,切忌隨便處理。禁止帶壓擰緊閥桿,調整墊料。檢查漏氣時應用肥皂水,不得使用明火。氣瓶與電焊在同一場使用時,瓶底應墊上絕緣物,以防氣瓶帶電。在接近屋頂的上部不能有火源和電源,在設置電源時應盡量考慮布置在下方。與氣瓶接觸的管道和設備要有接地裝置,防止由于產生靜電造成燃燒或爆l炸。冬季使用電瓶時,瓶閥或減壓器可能出現結霜現象,或用熱水或蒸汽解凍,嚴禁用火烘烤或用鐵器敲擊瓶閥,也不能猛擰減壓器的調節螺絲,以防氣體大量沖出造成事故。
5.表面粗糙度和耐磨性
為了確保輸送的氣體純凈度,要求管道材料內表面有一個極高的光潔度,這樣可以防止污染粒子及濕氣在管壁滯留,可以在吹掃時比較容易吹凈。管材比較光潔而且耐磨,可以在氣流高速沖刷下,產生的金屬粒子就少,不銹鋼比銅管產生粒子要少,所以不銹鋼管耐磨性優于鋼管。日本高爐節能技術的發展最近幾年,高爐的內部容積已經逐漸增大,因此需要更大的負載能力。
6.抗腐蝕性
微電子生產中,經常使用一些腐蝕性很強的氣體,這時必須采用耐腐蝕的管材,否則管道會被腐蝕,輕則表面產生銹斑,重則管道大面積剝落、穿孔,不但污染氣體,還會發生安全事故。