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水環真空泵的油對極限壓力的影響較大，在結構相同的擴散真空機組中，真空系統中，被抽氣體的分壓力也會泵油的不同而變化，在添加泵油的時候要注意。

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生物粘泥日積月累填充了彈簧的間隙，影響了彈簧在密封中的補償作用，還加劇了動、靜環摩擦副的磨損，影響了輔助密封圈的密封效果。

　添加的相關化學藥劑對水環真空泵的密封圈的緩慢腐蝕會引起密封失效。

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水環式真空泵的管路連接也是比較重要的一項工作，在采用管路材質及各類閥門時，一定要按照使用說明進行，將各管路的連接點做好有效地密封，使其能夠達到相應的范圍內，如果出現泄漏等問題，應該及時將管路進行檢查，看是否是密封造成的問題，及時的將其進行修復，穩定水環泵的運行情況。

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定期清洗真空泵及其他附件、過濾、管道，避免超壓：

　　半導體真空泵應用時，抽取介質過程中經過反應室與真空泵，其成分可能極為復雜，如SiH4與O2在泵口形成SiO2，TiCl4水解會形成HCl；假設是油封式機械泵，這些氣體物質還可能與泵油發生化反。這些變化假設形成顆粒、可凝物或者腐蝕性介質，就可能堵塞真空泵或管路系統，影響真空泵性能，造成壓力上升或超壓，一點中提到的危險性也更大。所以需要及時的清洗，并在必要的時候設置過濾設備。

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