資陽三坐標氣浮導軌平臺行業專家在線為您服務

光波超精密——三坐標氣浮導軌平臺

目前，國內外大多數精密測量設備均以空氣靜壓導軌為精密運動部件，而以氣動靜壓花崗巖導軌為參數適應性控制方式，其位置控制精度可達到 /-15納米。

由于精密測量儀要求摩擦熱小，不需要太大的載荷，所以主要采用空氣靜壓導軌來構成高精度的直線運動機構。因此測試儀的導板采用空氣靜壓導軌。

凡是能夠同時承受軸向、徑向或其他方向力的氣體支撐裝置，就是所謂的氣體靜壓組合裝置。氣靜壓力導軌是一種典型的組合氣靜裝置。由于工作臺的移動量，載重量及精度要求不同，

光波超精密氣浮導軌廠家——三坐標氣浮導軌平臺

安裝時，無論是直線導軌還是平面導軌，安裝都比較簡單，但由于直線導軌橫截面的形狀是以幾何形式呈現的，這種形狀比平面導軌橫截面的形狀要大得多，其原因就在于直線導軌的導軌需要加工溝槽，從而借助溝槽的幫助，才能實現滑動元件的平穩滑動。

直線導軌可以承受直線部分或其他方向的作用力，這類設計，也是直線導軌與平面導軌zui大的區別之一，所以在選購時也要十分注意這一點。

閉式靜壓導軌的特點是：

能承受正、反向載荷，能承受偏載和顛覆力矩的能力較強；

氣膜的剛度較高，因此對于導軌本身結構的剛度要求也較高；

(3)導軌的制作和調整較為復雜；

為降低功率損耗，閉式靜壓導軌一般采用不等面積氣腔結構。

根據安裝特點，氣浮導軌可分為平面封閉式、圓筒封閉式、重力平衡式和真空預載式。

光波超精密空氣導軌——三坐標氣浮導軌平臺

節流器的選擇和設計是氣浮導軌設計的關鍵。風門型式對氣動導軌承載性能的影響程度決定了工作臺精度和整體承載性能。表中顯示，節流器類型以小孔節流、環面節流和狹縫節流形式應用zui多；多孔質和環面淺腔節流是兩種較新的節流形式，具有承載能力高、穩定性好等優點，但對多孔質節流器而言，其節流特性主要受滲透系數的影響，而滲透系數主要由多孔質材料自身的特性決定，因此，其具體數值難以確定。環面式淺腔節流設計時，淺腔結構的深度一般在十幾微米到幾十微米之間，增加了加工難度，從而限制了此類節流器的應用。剩下的節流形式，在實際中很少使用。