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              發(fā)布時(shí)間:2021-10-27 08:23  

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                       同時(shí)抽取三個(gè)腔體的真空,分別抽速可達(dá)到400L/s,300L/s,15L/s,

                       轉(zhuǎn)速為48000rpm,對(duì)應(yīng)的控制器為:?Leybold  T400.

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