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真空泵選型

真空泵在其工作壓強下，應能排走真空設備工藝過程中產生的全部氣體量。

正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對稱陰極濺射離子泵）對ya有一定的抽速，兩者組合起來，便會使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預真空；有的真空泵出口壓強低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。

真空泵防返油裝置原理

為了能在停泵時防止真空泵油返到被抽容器，內置停泵防返油裝置就十分重要。

真空泵防返油閥原理：可靠的進氣口防返油裝置，雙重保護，不返油，保證了真空系統安全。

保護一：停泵時隔離閥關閉真空系統;

保護二：停泵時關閉油路并向泵腔充氣。

真空泵運行期間，控制活塞在油壓作用下頂著彈簧保持密封。防倒吸閥的閥盤由于自重保持在較低位置(閥門開啟)。泵停機后，油壓下降，彈簧將控制活塞向上頂。這樣就在油箱與防倒吸閥的活塞之間形成了一個通路。以上為真空泵防返油閥原理的介紹，對比用彈簧來控制防返閥的真空泵，防返油效果更好，故障率較低，維修更加簡單。

為什么真空泵達不到極限真空度及解決方法？

1.真空泵進氣管路及連接處漏氣找出漏氣原因或臨時用真空封泥封堵

2.所抽氣體溫度過高在進氣管路上假裝冷卻裝置，降低進氣溫度

3.油量不足或油質不對增添新的機械泵真空泵油

4.真空泵油已污損更換新的真空泵油

5.真空泵油溫度太低在寒冷季節，室內溫度過低影響真空泵油溫度，等泵運轉半小時后，才能正常工作

6.真空泵排氣閥片損壞漏氣更換新的真空泵排氣閥片

7.真空泵進氣管路連接處橡膠墊圈損壞更換新的橡膠密封墊圈

8.所抽氣體含有可凝性蒸汽加用氣鎮裝置或加裝蒸汽捕集裝置

9.幾間損壞因使用時間長，零件磨損，零件之間的間隙變大，從而影響正常工作和真空度，須進行修理更換

10.選用真空計不對